MFC1-气体质量流量控制器-,气体流量控制器成都维克安科技有限公司手机版

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气体质量流量控制器-流量控制-模拟量输出气体质量流量控制器

成都维克安科技有限公司

质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点:精度高，重复性好。

流量量程(N2)

2sccm 3sccm 5sccm 10sccm 20sccm 30sccm 50sccm 100sccm 200sccm 300sccm 500sccm 1slm2slm 3slm 5slm 10slm 20slm 30slm 50slm 100slm 150slm 200slm 250slm 300slm 500slm 750slm1000slm 1500slm 2000slm

产品精度

耐压

全部 3MPa 10MPa

输入输出信号

全部 (0~5)VDC (1~5)VDC (0~20)mA (4~20)mA RS-485 DeviceNet Profibus

电源

全部 ±15V 24V ±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC

1	量程范围	（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM
2	准确度	+1.0%F.S
3	线性	+0.5~1.5%F.S
4	重复精度	+0.2%F.S
5	响应时间	电特性：10sec 气特性：（1~4）sec
6	工作压差	（0.1~0.5）MPa
7	耐压	3MPa
8	工作环境温度	0~70℃
9	数字量	RS485 MODBUS协议
10	模拟量	DC 0~5V ，4~20mA 可选
11	供电	DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA
12	电气连接	DB15
13	漏率	1×10^-8SCCSHe
14	底座材质	316L不锈钢
15	密封材质	氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶
16	气路接头	Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞

产品简介

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