MFC3100A-气体质量流量控制器MFC3100A-大连风华传感科技有限公司手机版

产品简介

气体质量流量控制器MFC3100A，控制范围：30slpm ～ 125slpm ，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，无需温度压力补偿。气体质量流量控制MFC3100A是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体流量的稳流装置，能在较宽的量程范围内快速而**地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化，也不会影响其正常的工作。

详细介绍

气体质量流量控制器MFC3100A产品亮点：

-类型：MFC气体质量流量控制器

-控制范围：30slpm ～ 125slpm (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分)

-准度等级: ±1% F.S

-耐压：≤70bar

-标准接口：0-5VDC，4-20mA可选

-响应时间：≤2sec

-使用范围：2~99% for max range

-供电电源：+15~+28Vdc, 350Ma

-漏率：1×10-9atm·cc/sec

-气路连接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR

-适用介质：所有气体（含腐蚀性气体和有毒气体）

-无需温度、压力补偿

气体质量流量控制器MFC3100A

产品型号	MFC3100V	MFC3100A
流量范围 (N2)	30slpm ～ 125slpm	30slpm ～ 125slpm
响应时间	≤2秒	≤2秒
准确度	≤±1% 满量程	≤±1% 满量程
重复精度	≤±0.25% 满量程	≤±0.25% 满量程
输出输入信号	0~5Vdc	0~5Vdc或4~20毫安
供电	+15~+28Vdc，350毫安	+15~+28Vdc，350毫安
耐压	≤70 bar	≤70 bar
工作环境温度	0~50 °C	0~50 °C

应用领域：
－分析仪器－干刻（RIE/DRIE）－燃料电池
－生物技术－气相色谱分析－等离子刻蚀
－激光焊机－混气配气系统－微反应装置
－真空镀膜－过程自动化－石化工业