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气体质量流量计M***030V 产品亮点： |
-类 型：MFM气体质量流量计 -控制范围：10sccm ～ 30slpm (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分) -准度等级: ±1% F.S -耐 压：≤90bar -标准接口：0-5VDC，4-20mA可选 -响应时间：≤2sec -使用范围：2~99% for max range -供电电源：+15~+28Vdc, 350Ma -漏 率：1×10-9atm·cc/sec -气路连接：1/ |
-适用介质：所有气体（含腐蚀性气体和有毒气体） |
-无需温度、压力补偿
气体质量流量计M***030V 技术指标
产品型号M***030VM***030A 流量范围 (N2)10sccm ～ 30slpm 10sccm ～ 30slpm 响应时间 ≤2秒 ≤2秒 准确度 ≤±1% 满量程 ≤±1% 满量程 重复精度 ≤±0.25% 满量程 ≤±0.25% 满量程 输出输入信号 0~5Vdc 0~5Vdc或4~20毫安 供电 +15~+28Vdc，350毫安 +15~+28Vdc，350毫安 耐压 ≤90 bar ≤90 bar 工作环境温度 0~50 °C 0~50 °C
应用领域：
－分析仪器 －干刻（RIE/DRIE） －燃料电池
－生物技术 －气相色谱分析 －等离子刻蚀
－激光焊机 －混气配气系统 －微反应装置
－真空镀膜 －过程自动化 －石化工业
