MFM2030A-气体质量流量计MFM2030A-大连风华传感科技有限公司手机版

产品简介

气体质量流量计M***030A，控制范围：10sccm ～ 30slpm，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，无需温度压力补偿。气体质量流量计M***030A有精度高、响应速度快、重复性好、长期稳定性佳、工作压力范围宽、测量介质适应性广等特点，其操作方便，可任意位置安装调试。

气体质量流量计M***030A 产品亮点：

-类型：MFM气体质量流量计

-控制范围：10sccm ～ 30slpm (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分)

-准度等级: ±1% F.S

-耐压：≤90bar

-标准接口：0-5VDC，4-20mA可选

-响应时间：≤2sec

-使用范围：2~99% for max range

-供电电源：+15~+28Vdc, 350Ma

-漏率：1×10-9atm·cc/sec

-气路连接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR

-适用介质：所有气体（含腐蚀性气体和有毒气体）

-无需温度、压力补偿

气体质量流量计M***030A 性能指标：

应用领域：
－分析仪器－干刻（RIE/DRIE）－燃料电池
－生物技术－气相色谱分析－等离子刻蚀
－激光焊机－混气配气系统－微反应装置
－真空镀膜－过程自动化－石化工业