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德国Intego裸晶圆检测系统赫尔纳供应,由赫尔纳德国总部直接采购,近30年进口工业品经验,原装产品,支持选型,为您提供一对一好的解决方案:货期稳定,快速报价,价格优,设有8大办事处提供相关售后服务。
公司简介:
Intego 是一家中型科技公司,位于德国纽伦堡附近的埃尔兰根。我们开发专注于太阳能、半导体、汽车行业的客户特定相机系统。借助我们的检验系统,您可以从随机控制抽样跨越到检验,从而降低成本并提高质量标准。为了能够估算实施成本,我们提供基于样品零件的免费可行性研究。
德国Intego裸晶圆检测系统概述:
二十多年来,Intego 一直为晶圆生产提供标准和定制的光学检测系统。生产晶圆并持续提高良率是半导体行业的首要任务。及早检测损坏的晶圆不仅可以节省不必要的工艺时间,还可以节省因晶圆破损而导致的长时间且广泛的停机时间。
根据生产步骤,可以使用不同的检测系统。除了用于晶圆正面和背面的经典表面检测系统外,Intego 还提供用于检测微裂纹的特殊解决方案以及对晶圆边缘和凹口区域进行新颖的检测。该系统的特点不仅在于其创新的检测解决方案,还在于其定制的处理概念以及缺陷分析和审查软件。
德国Intego裸晶圆检测系统用途:
Ø 提高生产效率
Ø 表面检查
Ø 边缘检测 (LYNX)
Ø 材料检验
德国Intego裸晶圆检测系统主要应用:
Ø 切割、研磨和镜面抛光的晶圆
Ø 检测至 300 毫米的不透明、半透明和透明晶圆
Ø 提供适用于 Si、SiC、GaN、GaAs、Ge、蓝宝石、玻璃等的解决方案
德国Intego裸晶圆检测系统相关技术:
Ø 图像采集适应晶圆材料、尺寸、形状和运动
Ø 在一个周期内实现不同的焦点、放大倍率和照明
Ø 检测选项包括明场和暗场、透射光、激光散射、偏振、光致发光、DIC 等。
Ø 从 UV 到 IR 的照明配置选项
Ø 提供高达 0.1 µm/px 的高分辨率工具配置
德国Intego裸晶圆检测系统应用软件:
Ø 专有的自动缺陷检测和分类算法(在线/离线)
Ø 对以前的缺陷映射进行手动重新评估
Ø 的晶圆缺陷分析、审查和分箱能力
Ø 可定制的 GUI、结果可视化、KLARF 报告和 SQL 数据库解决方案
Ø SEMI软件接口包括SECS/GEM