inficon热电离真空计 ATM 至超高真空双规 BPG552 

inficon热电离真空计BPG552技术特点：

对于需要测量范围从 UHV (5 x10 -10 ) 到 ATM (1000 mbar) 的应用，Trigon™ 系列包括双技术 BPG552 仪表。BPG552 由 Bayard-Alpert 热电离传感器元件和经典、坚固且可靠的 Pirani 传感器元件组成。支持的 Bayard-Alpert 双灯丝提供的精度、可重复性和使用寿命。

inficon热电离真空计BPG552优点

ü 双量规（2 个传感元件）可实现宽测量范围、降低成本并节省空间

ü Bayard-Alpert 系统的 2 根灯丝

ü 皮拉尼联锁保护以避免灯丝过早烧毁

ü 自动高真空皮拉尼调节减少了操作员干预

ü 电隔离电子器件以避免杂散电流

ü 滑动排放模式可避免切换排放流时压力跳跃和冻结

ü 由于可拆卸校准数据芯片，可烘烤性更长

ü 设定点继电器

ü 明亮、大尺寸 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面

ü 模拟输出、RS232C串行接口、EtherCAT®

ü 可与 VGC50x 控制器系列结合使用

ü 向后兼容 BPG402

ü RoHS 合规性

inficon热电离真空计BPG552典型应用

· 半导体工艺中的压力测量

· 工业涂料

· 低至真空范围系统的一般真空测量和控制

inficon热电离真空计BPG552规格

测量范围（空气、O 2、CO、N 2）  5×10 -10 … 1000 毫巴

准确性  

1×10 -8 … 1×10 -2毫巴       ±15 读数

1 x 10 -2毫巴 … 1000 毫巴     读数的±30%

重复性：读数的 5%，10 -8 … 10 -2 mbar（稳定 10 分钟后）

暴露于真空的材料 不锈钢、NiFe、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、Ni、钨

inficon热电离真空计BPG552备件零件号 描述

354-420   BPG552 备用传感器头，KF25

354-421     BPG552 备用传感器头，CF40