德国thyracont镀膜真空计
时间:2023-12-29 阅读:190
德国Thyracont公司致力于研发和生产智能真空测量仪表以及控制仪表
Thyracont真空计包括了薄膜规,电容规,电阻规,皮拉尼,热阴极,冷阴极,以及复合真空规,满足不同量程的需求。
Thyracont真空计在薄膜镀膜中有很好地应用,BteBedampfungstechnik GmbH作为光学镀膜的企业,其核心竞争力是用于技术应用的光学元件镀膜。多年来,Bte 一直信任 Thyracont 的真空仪器。
BteBedampfungstechnik GmbH 在玻璃、金属和塑料上涂覆光学功能层。为此,金属(金、银、铝)或所谓的电介质在高真空中汽化。为了确保正确的汽化过程,控制和管理前级真空室中的压力和高真空室中的压力非常重要。只有当压力在规定的范围内时,才能保证汽化产品的良好质量。
为了控制真空,使用了VSH88D(皮拉尼/热阴极)和VSP63MV(皮拉尼,模拟)真空传感器。这些真空计控制和管理前真空和高真空泵站的功能,控制和调节气体剂量,这是过程所必需的。
Thyracont真空计在镜面镀膜中有很好地应用
在激光谐振器反射镜的光学镀膜过程中,典型的过程压力高于 2e-3 mbar。
合适的真空传感器必须能够监测涂层过程中的过程压力以及真空室中可用的最小压力 e-6 mbar。我们的客户曾经使用皮拉尼/冷阴极组合真空计,冷阴极监测最小值和过程真空度。 然而,在e-3 mbar以上的连续运行导致传感器的早期磨损。
在 VSM 传感器中,Thyracont Pirani 仅在非常低的压力下激活冷阴极。此外,两个传感器之间的转换可以根据应用要求进行配置。通过这种方式,我们实现了整个涂层过程现在由皮拉尼监控。 冷阴极得以保存,因为它仅在设备泵送至最小压力时才处于活动状态。涂料厂的可用性显著提高。