特征

优点

应用

• 可用于任何惰性气体
• 轻松设置
• 安装简单
• 前置流计
• 直观的用户控制
• 安静的操作
• 快速清除和清理
• VCR接头内部和外部
• 不锈钢结构

• 在正常操作过程中的零气体废物
• 近常压输出
• 低噪声
• 小尺寸
• 便于系统集成
• 2年保修的
• 较低的拥有成本

• 工艺鉴定
• 半导体制程监控
• 平板过程监控
• 过程趋势分析

主要技术参数及性能：

粒径范围

0.1μm 或更大

流速

1.0 CFM

输出压力

接近大气压

输入压力

30-150 psi

兼容气体

氮，氩气，氦气

运行噪音

<60 db

外壳

不锈钢

材质

316L 不锈钢

尺寸

5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]

重量

6 lbs (2.7 kg)

随机配件

采样管; VCR密封件; 尼龙螺帽；套圈

可选件

备用采样管; 14英寸不锈钢过滤器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15μm)