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iMEMS微机械陀螺仪是ADI公司正在发展的动态信号处理解决方案的一部分。iMEMS陀螺仪在严峻的工作条件下比其它的可靠性高、功耗低、易于使用、尺寸小、成本低。其内核采用*的表面微机械加工工艺，该工艺已为汽车安全系统、消费类和工业应用制造了两亿多只传感器。iMEMS产品采用了创新的设计方法，通过在同一硅片上集成微机械单元和电子单元电路，提高了传感器的性能。iMEMS目前有ADXRS和 ADIS两个系列产品。
ADXRS 产品
| 参 数 | 型 号 | |||
| ADXRS150 | ADXRS300 | ADXRS610 | ADXRS614 | |
| 量程（°/s） | ±150 | ±300 | +/-300 | +/- 50 |
| 比例因子（mV/°/s） | 12.5 | 5.0 | 6.0 | 25.0 |
| 带宽（Hz） | 2k | 2k | 2k | 2k |
| 噪音（°/s/√Hz） | 0.05 | 0.10 | 0.05 | 0.04 |
| 非线性 | 0.1% of FS | 0.1% of FS | 0.1% of FS | 0.1% of FS |
| 温度传感器 | 有 | 有 | 有 | 有 |
| 参考电压（V） | 有 | 有 | 无 | 有 |
| 输入电压（V） | 4.75~5.25 | 4.75~5.25 | 4.75~5.25 | 4.75~5.25 |
| 电流（mA） | 6 | 6 | 3.5 | 3.5 |
| 温度范围（℃） | -40～+85 | -40～+85 | -40～+85 | -40～+85 |
| 封装 | 32-BGA | 32-BGA | 32-BGA | 32-BGA |
ADIS 产品
| 参 数 | 型 号 | |
| ADIS16100 | ADIS16355 | |
| 描述 | 数字输出 | 高精度三轴惯性传感器 |
| 量程（°/s） | ±300 | +/- 75 to 300 |
| 比例因子（°/s/LSB） | 0.244 | 0.018 |
| 输出 | SPI | SPI |
| 带宽（HZ） | 0.04K | 0.35k |
| 噪音（°/s/√Hz） | 0.10 | 0.05 |
| 温度传感器 | 有 | 有 |
| 参考电压（V） | 有 | 有 |
| 电压（V） | 4.75~5.25 | 4.75~5.25 |
| 电流（mA） | 7 | 33 |
| 温度范围（℃） | -40～+85 | -40～+85 |
| 封装 | 8mm x 8mm LGA | 23 mm x 23 mm x 23 mm Mod |
