方块电阻 非接触薄膜电阻测量仪_20J3

响应率： 40 ms

5. 用途

设计用于玻璃、晶片、胶片等，其中包括：

6. 计量范围

Delcom 薄膜电阻测量仪可在四个范围之一使用。

7. 精确度

——与美国国家标准技术研究所 (NIST: National Institute of Standards and Technology) 的标准相比，Delcom 计量器校准后精确度达到 99.9% 以上 。用户在一分钟内可采用一个标准校准一个计量器。

8. 分辨率

——在所有四个计量器范围的各个数量级都有可用的有效数字

9. 线性

——Delcom 可保证被测试材料的实际薄膜电阻值偏差不超过 3%。以下图表所展示的是根据 10 NIST、VLSI 和 MSA 标准测试的 Delcom 计量器。

10. 可重复性

——如果采样位置和环境因素（比如，温度）保持不变，则 Delcom 计量器读数有效可重复率可达到 99.9%。

11. 温度补偿

——涡流仪器的基线读数随环境温度的变化而漂移。Delcom 台式传感器可获得温度补偿，因此它们的漂移量不会超过每小时每摄氏度总分辨率的 0.04%。

12. 仰角对读取的影响

——传感器间隙中导电层的仰角可影响计量器读数。这种影响可在使用仪器台过程中、自动进行距离探测器补偿，或者在已知材料仰角校准计量器时发生。

15. 薄膜电阻测量仪 20J3 仪器台

——可选仪器台，用于精确采样控制。

16. DELCOM 软件

——可选软件包括为普通用户应用程序优化的五种不同模式。

17. 选件和升级
——所有选件和升级都可以在原始设备上购买，并且购买后至少一年。
（1）基于PC的软件升级：
此配置不需要软件即可运行；但是，Delcom的软件是非常有价值的工具。Delcom的功能的软件具有许多有用的功能，允许用户设置通过/失败阈值，一次监视多个传感器，保存数据以进行进一步分析等等。它旨在使常见任务尽可能流畅，直观和容易。该软件需要运行Windows XP或更高版本操作系统的PC。
（2）以太网功能升级：
此选项用于与PLC或其他过程控制系统集成。它可以通过以太网对多达六个传感器进行权面的远程读取和控制。它还包括一个功能齐全的网站，用于诊断和设置。
（3）附加传感器：
873接口模块蕞多可容纳12个传感器。用户可能希望购买其他传感器，以增加整个系统的范围或在两个或多个物理位置进行测量。
（4）20J3测量平台：
该传感器设计为无需平台即可使用。但是，对于需要高精确度的应用，建议使用平台。该平台将使导电层的高度在传感器间隙中保持一致，并允许材料在传感器中进行更好的xy定位。
（5）真空包装：
传感器已准备好抽真空；但是，对于真空应用，将需要可选的真空就绪电缆，支架和馈通件。
（6）可选计算机：
如果需要，Delcom可以为客户提供笔记本电脑，台式机，平板电脑或工业触摸屏PC。