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微光显微镜EMMI(P-100)

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显微镜
仪准科技有限公司,是一家专业从事电子产品分析测试设备研发生产以及设备代理的整合商。 旗下公司有仪准科技(香港)有限公司、上海仪准电子科技有限公司、仪准科技(北京)有限公司、中国台湾仪准科技有限公司,形成了横跨两岸三地;集研发、生产、销售、售后为一体的产业化模式。公司产品涵盖半导体IC业、LCD (TFT)光电业、LED照明、太阳能等高科技领域。 公司拥有一批有着多年丰富经验的销售人员、应用技术支持及服务人员;不仅能提供完整的设备方案,还能为您的相关检测分析流程提供应用技术支持及有效的咨询顾问服务。 公司具备优良的产品品质和优质的技术服务,与诸多客户建立了良好合作关系,并在客户群中享有良好声誉。近年来随着国内对器件品质的重视,在实验室分析设备上的投入大幅增加。仪准参与建设的国内实验室有:宜特科技、广州五所、华测检测、北京智芯微、无锡华进、银行卡检测中心、北京电子四所等,累计项目金额几亿元人民币。公司以创新务实的理念,不断提供优质服务回报广大客户。丰富的业内资源: 仪准科技和国际品牌的分析设备厂家有着密切的关系,同时可以提供中国多家实验室的免费参观。

详细信息

微光显微镜EMMI(P-100)

产品简介:

EMMI测试系统又名光发射显微镜,是器件失效分析中漏电定位的重要工具。P-100 EMMI测试系统是仪准科技自有品牌,进入中国已经有15年之久。目前国内拥有三安光电、中兴通讯、智芯微电子、欧司朗、北京772所、MPS、乐山菲尼克斯、深圳明微、国家软件测评中心等几十家客户。

具体规格如下:

Si探测器

采集晶片

硅基芯片

像素

1024  × 1024 pixel

像素尺寸

13 微米  × 13 微米

晶片尺寸

13.3毫米 × 13.3 毫米

噪音

6 electrons rms

冷却方式

电制冷+水冷

探测器晶片降温

-70°C

冷却时间

小于10分钟(常温至-70°C)

InGaAs探测器

采集晶片

铟砷化镓晶片

像素

640  × 512 pixel

像素尺寸

20 微米 x 20 微米

图像范围

12.8毫米 x 10.24 毫米

冷却方式

电制冷+水冷

探测器晶片降温

-70°C

冷却时间

小于10分钟(常温至-70°C)

探针台

尺寸

6、8、12寸单双面探针台可选

电压范围

3000V以下可选

电流范围

直流10A以内;脉冲40A以内可选

探针座移动精度

0.7微米

主机台

移动方式

电控移动

X-Y-Z移动范围

50*50*70毫米(z轴移动100毫米选配)

X-Y移动精度

1微米

Z移动精度

0.2微米

光学显微镜

品牌

日本三丰

目镜

10X一对

物镜

2.5x,5x,20x,50x(100x选配)

其它

屏蔽箱

关门自动切断光源,内部处于暗场环境

减震台

97%@10HZ

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