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LSLM-500步进式光刻机

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袖珍辐射仪
河南海恒实业有限公司是中国海恒集团公司企业,是中国的超短激光器、傅里叶红外光谱仪、拉曼光谱分析仪、微纳机电、步进式光刻机以及核辐射监测设备等科研、检测与高校教学设备代理供应商。 公司地处中国地理中心——郑州,是黄河?嵩山临依之地,郑州是华夏文明的重要发祥地,是三皇五帝活动的腹地、中华 文明轴心区。享“得中原者,得天下”的美誉。 海恒实业有限公司是众多品牌仪器设备中国制造企业的合作代理商。公司发展具有坚实的技术支撑,与高校、研究院所达成深度合作,共同围绕超短激光及成像系统、拉曼光谱和微纳机电与光刻技术等新技术开展深入研究。拥有专业的技术队伍和丰富的项目实施经验,具有良好的项目履约经历。能够向用户提供专业的技术指导、方案规划和项目实施。公司时刻以向用户提供高品质的产品和服务为己任,始终以解决客户实际需求为宗旨;持续向客户提供优质的产品及*的售后服务。

详细信息

  • 用途:步进式光刻可将掩模版图案缩小比例转移到待曝光的基板表面。
  • 主要规格:可将掩模版图案同比例缩小5倍进行曝光;线宽:达500nm;可以配合使用多种型号的正光阻和负光阻;
  • 适用晶片尺寸:样品尺寸不能大于6英寸。
  • 可溅镀的材料:金属类Al、Cu、Gr、Co、Fe、Ni、Pt、Ag、Ti、Ta;合金类NiFe、CoFe、CoFeB、NiMn、FeMn、TbFeCo;氧化物类MgO等。
  • 尺寸170 cm*130 cm*180 cm


  • 产品特点
    高精准度;
    桌上型、体积小、内建计算机;
    可客制化硬件与软件,以符合业界需求;
    弹性适用于各种基底与形状。


  • 应用领域
    中小规模集成电路;
    半导体元器件;
    声表面波器件的研制和生产;


  • 详细参数




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