GAS-100在线四极质谱残余气体分析系统

Gas-100在线四极质谱残余气体分析系统

一. 应用：

n 真空科学工业

n 航空航天工业

n 电子工业

n 环境科学

n 表面科学

n 痕量气体分析

n 在线工业检测

n 气体检漏

n 催化表征

二. 主要参数及性能指标：

n 质量范围： 1-200amu

n 灵敏度：5×10-4法拉第杯

n 分辨率：≤1amu，10%峰高

n 响应时间：ms 级

n 检出限：≤10ppm（FC）

n 分析系统极限真空度: 2×10-7mbar

n 最小可检分压强：5×10-11mbar（N2）法拉第杯

n 分析系统工作真空度: 5×10-4mbar

n 允许烘烤温度：＜200℃

n 取样压力：1个大气压

n 气体监测种类：12

n 启动时间 ：5分钟

n 环境温度 ： 35 °C

n 功率：220W

三. 结构简介

Gas-100在线四极质谱残余气体分析系统是的在线四极质谱分析仪，核心部件采用德国和美国进口，由分析室,四极质谱,分子泵,真空计，前级泵,取样微调阀，旁抽管路和电磁阀，计算机组成。残余气体分析质谱仪装入真空系统中，极大扩展了四极质谱的应用范围，可以一机多用，既可作残余气体分析仪，又可作真空系统的检漏仪，可以使用多种气体作示漏气体。

采用抗氧化敷钍铱丝双灯丝和法拉第接收杯四极质谱, 通过RS232接入笔记本电脑, 由专用的控制软件分析, 可进行全谱、棒谱、多离子谱的分析，在友好的WINDOWS界面下操作，给出可靠的分析测试结果及明晰的用户报告，完成对气体的分压测量和成份分析
取样系统采用进口的毛细管和电磁阀组成, 分析系统可同过阀门直接接入工艺真空室采样,或者直接对大气取样。可在线原位分析监测真空容器的残余气体，又可检测溅射镀膜或者各种反应室内工艺气体成分, 定性或定量分析气体的分压强, 优化工艺过程参数, 提高产品质量, 并可对真空系统进行检漏. 仪器具有完备的功能，可做气体分析及有机物监测，可以实现和气体相关的在线或离线气体成分, 定性或定量分析。

四、仪器特点

n 动态、连续取样，实时、在线气体分析；响应速度快，数据分析功能。

n 仪器集成化、自动化程度高，体积小，抗干扰能力强。

n 双灯丝，并配有灯丝保护装置，的延长灯丝的使用寿命。

n 机身附带两级真空泵，应用范围可从高压到超高真空，根据用户需求组合配置。

n 精加工的四极杆质量分析器和高精度安装调试技术保证近轴电场稳定。

n 系统内部合理优化的散热流路设计。

n 分子泵和质量分析器采用不同的减震措施，确保仪器运行的高可靠性。

n 取样范围从常压到超高真空。

n 软件功能，采用Winsow操作界面，简单易学。

五、主要配置清单