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杭州谱镭光电技术有限公司(Hangzhou SPL Photonics Co.,Ltd)创立于2008年,经过近12年公司同仁共同的的努力和发展,公司在光谱仪器、激光器系统及配件,生物光学和量子光学等领域和应用有非常多的经验和解决方案,同时也组建了一支专业的销售和服务团队。
公司秉承专业服务客户为上的目标,一直严格要求,以尽善尽美为工作方向,和客户一起前行。目前公司在光谱仪器和激光检测系统方面有自己的研发能力,开发出了便携式土壤重金属分析仪(LIBS)、便携式红宝石标压系统、显微拉曼测量系统等。同时公司时刻关注新的技术和产品,目前代理包括微型光纤光谱仪、红外光谱仪,飞秒激光器,纳秒激光器,可调谐激光器,窄线宽激光器,He-Ne激光器等各种激光器和配件。同时代理各类光电检测设备,包括功率计、能量计、光束质量分析系统、脉宽测量探测器和自相关仪、偏振态测量系统。还有代理各类光学配件,包括光学元器件,位移系统,滤波片。
目前公司主要代理品牌如下:
美国海洋光学:光纤光谱仪及配件;
美国CEO:激光二极管,二极管侧泵模块,各类纳秒激光器,激光控制器;
奥地利Montfrot:适用于便携的超紧凑纳秒高能量激光器,大功率皮秒、飞秒激光器;
美国EOT:高品质隔离器、各类光电探测器;
美国DataRay: 光束质量分析系统及配件;
德国CarbonVision:高品质碳纤维面包板及定制产品;
丹麦DFM:单频激光器;
德国GRINTECH:自聚焦透镜、生物医学用定制透镜系统;
法国IRISIOME:皮秒可编程调谐激光器;
德国LIOP:超稳定高精度光学调整架及光机械产品;
德国MRC:光束自稳定系统;
立陶宛QLI:高能量紧凑风冷纳秒激光器,可五倍频到213nm;
美国Axsun:OCT用高速扫频激光光源;
专谱ProSP:各类定制光谱系统;
立陶宛Integrated Optics:超紧凑稳定的半导体和DPSS激光器;
德国Class 5:高功率飞秒激光器系统,OPCPA系统。
Energetiq光源是一款高亮度,高稳定、长寿命宽谱光源,采用革命性的光源技术——LDLS™激光驱动光源技术,这种光源从170nm通过可见光到近红外2100nm范围内亮度、光谱平坦,寿命比传统光源高一个数量级。
无电极Z-PinchTM EUV(极紫外)、SXR(软X射线)光源系列
Energetiq独特的技术基于Z-Pinch等离子体,但是不使用电极而是通过电感将电流耦合进入等离子体中。Energetiq光源中的等离子体通过磁性远离光源内壁,能够将热负载消除到极低并减少残留碎屑。Energetiq的无电极Z-Pinch技术有的空间稳定性和稳定的可重复输出功率。
主要特点
输出波长13.5nm,2nm-4nmTM
输出功率10W@13.5±1%(可选20W型号)
重复频率2kHz(可选10kHz型号)
无电极Z-Pinch技术
符合CE标志和SEMI S2-0703
主要应用
EUV度量学
耐EUV开发
缺陷检测
EUV显微学
水窗显微镜(XSR版本)
选型指南
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| 型号 | EQ-10 | EQ-10HR | EQ-10HP | EQ-10SXR |
| 输出功率 (用氙气在2π球面) | 10W,13.5nm,±1%宽带 | - | 20W,13.5nm,±1%宽带 | 400mW,2.8nm,产生2-4nm软X射线 |
| 脉冲重复率 | 1200 to 2000 Hz | 10kHz | 1200 to 2500 Hz | 2kHz |
| 尺寸 | 小等离子体尺寸 | |||
| 残留情况 | 低残留 | |||
| 工作压强 | 一般70到100 mTorr | 一般150 mTorr | 一般70到150 mTorr | - |
| 氙气流速 | 一般5到15 sccm | 一般100 sccm | 一般5到15 sccm | - |
| 低成本 | 氙气流速低,将消耗成本降低,占地面小 | |||
| 可靠性强 | 无电极Z-Pinch技术,符合CE标志和SEMI S2-0703 | |||
| 应用 | EUV度量学 耐EUV开发 缺陷检测 EUV显微学 | EUV光学元件测量 EUV计量学 耐EUV开发 缺陷检测 EUV显微学 | EUV掩膜检测 EUV度量学 耐EUV开发 EUV显微学 | 水窗显微镜 细胞微光束探测 |