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徕卡白光共聚焦干涉显微镜-Leica DCM8
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链能金相实验设备南京有限公司
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详细信息
| 徕卡白光共聚焦干涉显微镜-Leica DCM8性能 | ||||||||
| • 采用了全新的非接触式三维光学表面测量技术 • 提供明视场模式和暗视场模式，具有优质的准确度和可重复性 • 功能多样，准确性高，满足您独特的表面测量要求 • 通过高清（HD）共聚焦显微技术实现优质横向分辨率、斜率求解和成像 • 通过高清干涉测量技术实现高达0.1nm的优质纵向分辨率 • 通过明场和暗场显微镜方便的实现图像摄取 • 四盏RGB高清彩色成像LED，应用范围更广 • 可使用三种方法测量厚薄不同的薄膜 • 配置和物镜适用于观测的样品 • 快速、简单、耐用，省时省力，节约资金，实现优质结果 • 无需准备样品和切换仪器 • 数字高清共聚焦扫描快速、可靠 • 通过大视场和形貌拼接快速摄取大表面 • 直观的2D和3D软件，适用于数据采集和分析 |  | |||||||
| 徕卡白光共聚焦干涉显微镜-Leica DCM8技术参数 | ||||||||
| 系统 | Leica DCM8技术参数 | |||||||
| 测量原理 | 非接触式3D双核光学成像轮廓测定法（共聚焦和干涉测量） | |||||||
| 功能 | 高清成像、高清3D形貌、轮廓、坐标、厚度、粗糙度、体积、表面纹理、光谱分析、色谱分析等 | |||||||
| 对比度模式 | 高清共聚焦、高清干涉测量（PSI、ePSI、VSI）、高清明场彩色、明场、暗场、实时高清RGB共聚焦 | |||||||
| 样品高度 | 标准型：40mm；包括可调立柱：高150mm；根据要求可提供更高的样品高度 | |||||||
| 物镜 | 共聚焦、明场和暗场模式下，放大倍率1.25X至150X；干涉测量模式下，放大倍率5X至50X | |||||||
| 物镜转盘 | 6位手动式物镜转盘/6位电动式物镜转盘 | |||||||
| 载物台扫描范围 （X、Y、Z） | 垂直：Z=40mm；水平：XY=100x75mm（标准），或=300x300mm，根据要求， 可提供更大的载物台 | |||||||
| 垂直扫描范围 | 共聚焦40mm，PSI20μm、ePSI100μm、VSI10mm | |||||||
| 照明 | LED光源：红色（630nm），绿色（530nm），蓝色（460nm）和白色 | |||||||
| 图像采集 | CCD黑白传感器：1360x1024像素（全分辨率）；黑白35FPS | |||||||
| 样品反射率 | 0.1%-99% | |||||||
| 尺寸和重量 | 长x宽x高=573x390x569mm；重量：48kg | |||||||
| 工作条件 | 温度：10℃至35℃；相对湿度（HR）＜80%；海拔高度＜2000m | |||||||
| 隔振 | 有源或无源 | |||||||
| 再现性（50X放大倍率） | 共聚焦/VSI：误差=0.003μm（3nm）；PSI：误差=0.16nm（0.00016μm） | |||||||
| 准确度（20X放大倍率） | 开环：相对误差＜3%；闭环：误差＜20% | |||||||
| 共聚焦模式 | ||||||||
| 物镜放大倍率 | 1.25X | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| 数值孔径 | 0.04 | 0.07 | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 0.9 | 0.95 | 0.95 |
| 视场（μm） | 14032x10560 | 7016x5280 | 3508x2640 | 1754x1320 | 877x660 | 351x264 | 175x132 | 117x88 |
| 光学分辨率（X/Y）（μm） | 35 | 20 | 0.94 | 0.47 | 0.28 | 0.16 | 0.14 | 0.14 |
| 纵向分辨率（nm） | ＜3000 | ＜350 | ＜150 | ＜30 | ＜15 | ＜5 | ＜2 | ＜2 |
| 典型测量时间 | 3-5s | |||||||
| 干涉测量模式 | ||||||||
| 物镜放大倍率 | - | - | 5X | 10X | 20X | 50X | - | - |
| 数值孔径 | - | - | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 0.5 | - | - |
| 视场（μm） | - | - | 3508x2640 | 1754x1320 | 677x660 | 351x264 | - | - |
| 光学分辨率蓝光（X/Y）（μm） | - | - | 0.94 | 0.47 | 0.35 | 0.28 | - | - |
| 光学分辨率白光（X/Y）（μm） | - | - | 1.12 | 0.56 | 0.42 | 0.33 | - | - |
| 纵向分辨率（nm） | - | - | PSI＜0.1；ePSI＜1.0；VSI＜3.0 | - | - | |||
| 垂直扫描速度（μm/s） | - | - | VSI/ePSI：2.4-17μm/s | - | - | |||
| 典型测量时间 | - | - | PSI：3-6s；VSI：10s；ePSI：30s | - | - | |||
