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APA 302
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蓝钛科技的产品涉及汽车、钢铁、电子、塑料、橡胶、管材、建材、鞋类、皮革、纺织等各大领域，服务对象覆盖中国各企业以及相关行业科研院所、检测机构等等。深圳市蓝钛科技有限公司是一家成立于2015年的试验仪器设备解决方案专业供应商。我们专注于为客户提供材料分析及品质控制的高品质设备及技术支持服务。我们的产品主要来自于自主研发、制造，以及与国内外优秀供应商合作，长期为广大客户提供优质的产品及服务。目前公司专营和代理电子试验机、高频疲劳试验机等力学检测设备，德国普发真空机、真空系统等真空系列产品，普锐斯、徕卡系列金相检测设备，EMCOTEST硬度计系列专用设备等。同时公司还代理相关实验室耗材如标样、砂纸、爱德龙工业润滑油等实验室配套消耗物料。公司汇集众多行业精英，主创团队均拥有试验检测行业十年以上经验，期待与您的精诚合作！
详细信息
有效的污染监测
水分和空气分子污染物 (AMC)，例如， (HF)，于等待时间内，在 FOUP 槽对槽的空间里被释放出来。而这些元素会在图样晶圆上生成晶体生长，从而导致产量的损失和性能的退化。普发真空的 APA 302 通过 FOUP 过滤器来对 AMC 进行采样。在 ppb 的范围内，通过离子迁移光谱仪、火焰离子化检测、荧光紫外线或光腔衰荡光谱技术，测量在 2 分钟内发生，具有高灵敏度。而当负载端口上没有 FOUP 时，APA 302 会监控周围的洁净室环境。
FOUP 环境的可靠分析
为了保证性能，SEMI S2/S8 兼容的 APA 302 配备了自动校准功能，它会在定期的时间间隔内被激活。对于在 APA 中对 AMC 的监控，可在有晶圆或无晶圆的 POD 中执行。FOUP 可以手动传送，也可通过 2 个负载端口上的悬挂式起重运输 (OHT) 来传送。因此，可优化各工艺步骤间的等待时间，污染的增加量能立刻被察觉到，且产量增加。
