Park NX20大样品原子力显微镜

1概览

The leading nano metrology tool for failure analysis and large sample research

作为一位失效分析工程师，您的任务是提供结果。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这架精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和硬盘行业中大受赞扬。

More powerful failure analysis solutions

Park NX20具备无二的功能，可轻易找出仪器失效的原因并帮助制定出更多具有创意的解决方案。的精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，True Non-Contact™扫描模式让探针更锋利、更耐久，无需为频繁更换而耗费大量的时间和金钱。

Easy to use, even for entry level engineers

Park NX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时监督初级工师。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析。

2技术信息

Accurate AFM Solutions for FA and Research Laboratories

Sidewall measurements for 3D structure study

NX20的创新构造让您可以检测样品的侧壁和表面，并能够测量角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所的。

Surface roughness measurements for media and substrates

表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精确的失效分析和质量保证。

High resolution electrical scan mode

QuickStep SCM  的扫描式电容显微镜  

 PinPoint iAFM  无摩擦导电原子力显微镜

Accurate and Reproducible Measurements for Better Productivity

         Tip Wearing Experiment with CrN Sample

• 通过对比重复扫描情况下探针的形状变化，您可以轻易看到Park的True Non-Contact模式的优势之处。

                        Reproduce Best AFM Measurement

• 借助True Non-Contact模式，探针在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。

Accurate AFM Topography with Low Noise Z Detector

True Sample Topography™ without piezo creep error

我们的原子力显微镜配有的低噪声Z轴探测器，宽噪音带宽仅有0.02 nm。这能够带来超精确的样品形貌，不会受沿过冲影响，而且无需校准。这仅仅是Park原子力显微镜为您节省时间，带来更好精确数据的方式之一。

3原子力显微镜模式

QuickStep SCM Mode

PinPoint Conductive AFM Mode

PinPoint导电原子力显微镜模式是针对探针和样品之间的指定电接点而开发设计的。在电流采样过程中，XY轴扫描器会依据用户设定的接触时间停止。PinPoint导电原子力显微镜模式能够带来更高的空间分辨率，且不受 侧向力的影响，同时在不同样品表面的电流测量也得到优化。

PinPoint Conductive AFM Mode

PinPoint导电原子力显微镜模式是针对探针和样品之间的指定电接点而开发设计的。在电流采样过程中，XY轴扫描器会依据用户设定的接触时间停止。PinPoint导电原子力显微镜模式能够带来更高的空间分辨率，且不受 侧向力的影响，同时在不同样品表面的电流测量也得到优化。

通过对比氧化锌纳米棒在不同类型的导电原子力显微镜图像，我们可以看到相比轻敲式导电原子力显微镜，传统的接触式导电原子力显微镜有着更高精度的电流测量，但其分辨率低，原因在于探针在接触中快速磨损。全新的PinPoint导电原子力显微镜不但空间分辨率更高，且电流测量也得到优化。

High-bandwidth, Low-noise Conductive AFM

导电原子力显微镜是各类元件研究的重要工具，特别是工业的失效分析。Park导电原子力显微镜在市场中竞争力，不但有着全行业的电流噪声，且增益范围也是。

• The lowest current noise 业内的电流噪声(0.1 pA)

• 业内的电流(10 μA)

• 的增益范围（7个数量级，103-109）