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漏液感测器是利用光线的反射原理进行侦测,采用的是红外线发光零件、红外线受光零件与稜镜组成,在不锈钢板、塑胶板或木板上也可检测。体积小、反应时间快、灵敏度高、接液后擦拭立即复归。
半导体制程设备、曝光装置、光刻机、清洗设备、医疗设备、印刷机等
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