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AML真空步进电机

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详细信息

概要
英国AML(成立于1981年)真空宇航级步进电机的清洁、组装、测试、真空密封包装都是在超高真空标准的洁净室内完成。由于设计,特种材料的选择,结构的改进,从而大大的减少了温升和逸气(真空环境中材料和电机内部会逸气破坏真空环境)。其中电机表面的亚光黑色是蚀刻并镀类金刚石薄膜(DLC工艺)以增加发射率并减少逸气/脱气,其整体性能要纯不锈钢表面。
应用领域
·半导体制造;
·无尘室;
·真空室;
·太空飞行
·太空实验室;
·食品设备;
·医疗设备;
·;
·LED和OLED晶圆生产;
·科研实验室;
·仪器仪表;
·化工分析;
·生物工程;
技术概述
型号 保持扭矩 惯量 轴向力 径向力 重量 电流 相电阻 相电感
  mNm gcm2 kgf kgf g A Ω mH
D35.1 70 10 9 15 190 1 4.7 3.8
D42.1 180 35 9 15 350 1 5.3 6.6
D42.2 360 68 9 15 470 1 6.8 10.5
D42.3 450 102 9 15 610 1 8.5 19.5
D57.1 800 300 13 40 700 1 10.5 27
指标 标准真空步进电机(D**-UHV-1)满足如下指标:
①适用于真空度:1x10-10 mbar (1x10-10hPa)=1x10-8 Pa ;
②工作环境温度:-65ºC ~ +200ºC;
③烘烤温度:200℃;
④自带“K”型热电偶
选项**
R-XV18**:真空辐射环境:1x106Gy(总吸收剂量);
C-XV18**:真空超低温环境:-200ºC ~ +200ºC;
P-XV18**:电机内部嵌入PT100温度传感器;
X-XV18**:电机输出轴定制(需要提供草图);
H-XV18**:特殊处理的混合陶瓷轴承(固体润滑);
PG**-**-V:配套真空高低温真空减速机;
B-XV18**:配套真空高低温旋变;
 

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