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JKZC-ST-Z Z轴纳米定位/扫描平台
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JKZC-ST-Z Z轴纳米定位/扫描平台
Z轴纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫搭功能。
1、典型应用
光学对准
纳米压印
显微成像/操纵
光栅刻写
双光子聚合
光学移相
晶圆检测
表面检测
测量技术
半导体加工
2、技术特点
超高定位精度
高动态
无摩擦柔性较链导向
超高真空兼容性
多运动模式:定位/扫描
3、2D尺寸图
4、规格参数
JKZC-ST-Z | 单位 | |||
运动触数 | 1 | |||
驱动类型 | 压电陶瓷 | |||
闭环行程 | 50 | 100 | 200 | μm |
分辨率 | 0.35 | nm | ||
最小步长 | 0.5 | nm | ||
无负载谐振频率 | 800 | Hz | ||
运动方向大负载 | 5 | kg | ||
传感器类型 | 电容传感器 | |||
尺寸(LxWxH) | 90x36.5x90 | mm | ||
白重 | 685 | g | ||
电气接口 | D-sub9/可定制 | |||
工作泗度 | -20-80 | ℃ | ||
屏蔽线缆长度 | 2 | m | ||
材料 | 铝合金/钛合金 | |||
真空(可选) | 超真空兼容(5x10”) | mbar | ||
*真空版可选
5、适配控制器
