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RO3620-M-R952 Admotec变压器在半导体行业的应用

型号
RO3620-M-R952
北京汉达森机械技术有限公司

中级会员7年 

经销商

该企业相似产品

泵、传感器、电源、阀门、液压马达

     Handelsen于2007年在德国汉堡市成立,主要从事欧洲工业自动化设备、机电设备、液压设备、电气设备和零部件等产品。Handelsen秉承严谨做事传统,稳步发展。迄今为止,仅在德国合作的供货商及工厂已达到1800多家,并同德国、意大利等欧洲工厂建立起总代理合作关系。
    Handelsen凭借货源的一手优势价格及高品质的产品工艺,逐步打开了中国工业备品备件领域的市场。涉及的产品主要为电机、泵、阀、开关、传感器、过滤器、滤芯、开关、编码器、减速机、继电器、控制器、马达、拖链、报警器、电缆、缓冲器、分配器等等,广泛应用于冶金、钢铁、化工、能源、航天、汽车、电厂等行业。
     2012年,Handelsen增加了德国直供销售部,由Handelsen音译而来的北京汉达森贸易有限公司也与同年3月份在北京成立,自此,汉达森形成 “源头工厂—销售—商务—物流—中国市场—售后—技术服务”的自工厂到市场的垂直供应体系。
     北京汉达森贸易有限公司,在成立伊始,即注重遵守德国严谨夯实的工作作风,从未追求所谓的“Z大”等虚荣头衔,而是把提高产品品质和技术服务作为公司生存和发展的Z根本的基石。汉达森主要经营范围涉及总代理和备品备件业务,基于多年来与欧洲供应商的合作关系,汉达森获取Grindaix、Nuding、Unimec、Statron、Hadef、Transmotec、Novatech等品牌的总代理权,为有相应产品需求的客户提供Z低的采购价格。在备品备件业务领域,现已具备一套独立的采购网络,形成从询价、报价、物流到售后等服务,每一个环节都有人员负责。通过不断地拓展供货渠道,Z大限度的满足客户需求。如果您还在为欧洲机械产品昂贵的价格望而兴叹,请您尝试选择汉达森,我们将通过的技术和优质售后服务,与您搭建起长久稳固的合作关系。

      北京汉达森机械技术有限公司是一家从事欧洲工业产品贸易的公司。主要产品有工业自动化设备、机电设备、液压设备、电气设备和零部件等产品。公司总部于2007年在德国成立。公司自成立以来,一直以德国公司的身份为国内一些贸易商,设备商及终端客户提供产品代购服务。

北京汉达森机械技术有限公司是一家从事欧洲工业产品贸易的公司。主要产品有工业自动化设备、机电设备、液压设备、电气设备和零部件等产品。

我们的优势:

1)渠道广泛,国内有代理,或者有客户保护厂家不卖的产品,只要您能提供型号,我们同样可以从德国的分销商来采购。

2)价格合理,绕过层层代理,大限度的让利给客户。

3)直接从德国厂家采购,保证所有产品均为。

4)德国仓库每周两次统一拼箱发货,极大节约了物流成本。

5)德国工程师为您提供的售前及售后技术咨询服务。

 

详细信息

Admotec变压器在半导体行业的应用

  AdmotecPrecision的核心产品是Rotasyn®旋转变压器(常被称作“变压器”),凭借实心无绕组转子与全密封抗恶劣环境设计,在半导体设备中作为高精度、高可靠的角度/位置反馈元件,替代易损的光学编码器。

Admotec变压器在半导体行业的应用

  一、核心应用场景与型号

  1.光刻机(最核心应用)

  物镜调焦/调平电机:RO2010(φ20mm定子,≤φ4mm轴),微型高速、真空兼容、动态响应快。

  晶圆台/双工件台定位:RO3620/RO5032(多极对),精度**±4弧分**,配合RDC实现纳米级角度闭环。

  物镜温控阀门:RO2613,小型化、介质兼容,温控精度**±0.1℃**,防止热变形导致曝光偏移。

  2.刻蚀机(等离子/腐蚀环境

  反应腔高压阀门:RO5032‑K(钛合金+高压密封),耐受1600bar,兼容CF₄、SF₆等腐蚀性气体。

  偏压电极/静电卡盘:RO3620,强EMI免疫,适应等离子体环境,保证旋转定位精度。

  腔室清洁机器人关节:RO2010/RO2613,小型高速、洁净室兼容。

  3.离子注入机/薄膜沉积(CVD/PVD/ALD)

  离子束角度/扫描机构:RO3620,高速高精度、宽温、抗EMI,满足纳米级定位。

  工艺阀门/气体流量控制:RO5032,高压密封、耐腐蚀,精准控制流量与压力。

  4.其他半导体设备

  晶圆传输机械臂:RO2010/RO2613,低惯性、高转速,快速精准搬运。

  高速主轴/真空主轴:RO3620/RO5032,无绕组、耐真空、长寿命,保证主轴精度稳定。

Admotec变压器在半导体行业的应用

  二、半导体环境适配的核心优势

  真空/洁净室兼容:全密封、无挥发、无污染物,适配高真空与洁净环境。

  宽温稳定:‑196℃至+220℃(部分型号),腔室高温/低温工艺下精度不变。

  强抗EMI:磁路屏蔽,在等离子体、射频、强电磁干扰下不跳变、不失准。

  耐腐蚀/介质浸泡:钛合金/不锈钢+特殊密封,耐受腐蚀气体、冷却液、液压油浸泡。

  长寿命免维护:转子无绕组/无磁钢,理论寿命>10万小时,与设备同周期,减少停机。

  三、与光学编码器对比(半导体场景)

  光学编码器:怕震、怕粉尘/油污、高温老化、真空易失效、寿命短。

  Admotec旋变:抗振、耐脏、宽温、真空兼容、长寿命,恶劣环境下精度稳定、免维护。

  四、典型精度指标(半导体应用)

  常规精度:±20~±40弧分(≈0.008°)。

  多极对高精度版:±4弧分,配合RDC实现纳米级角度闭环。

  转速范围:0~160,000RPM,高速下不失锁、精度稳定。

Admotec变压器在半导体行业的应用

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