RT RC-05B/RT RC-04微型聚焦试验片日本检查机器JIMA

RT RC-04试验片日本检查机器JIMA‌ 是一款由日本检验仪器制造商协会（JIMA）开发的高精度X射线分辨率测试卡，用于校准和评估微焦点或纳米焦点X射线成像系统的空间分辨率性能。

核心参数与特性

• ‌分辨率范围‌：支持从 ‌0.1 μm 至 10 μm‌ 的23种线对（Line/Space），覆盖纳米级与微米级检测需求。

• ‌线对布局‌：采用 ‌T型图案布局‌，包含垂直（V）、水平（H）及复合方向结构，提升多向分辨率评估能力。

• ‌芯片规格‌：

• 芯片尺寸：‌5×5×0.015 mm‌（Si基板）

• 吸收材料：‌钨（W）‌，厚度 ≥650 nm，确保高对比度成像

• 保护膜：‌PET膜‌，厚度25 μm，具备良好耐久性

该测试卡广泛应用于：

• X射线CT系统、微焦点X射线成像设备的日常校准

• 半导体封装、电子元器件、电池极片等精密部件的无损检测（NDT）

• 医疗影像设备与科研级X射线装置的分辨率验证

• 通过观察最小可分辨线对，反推X射线源焦点尺寸（≈ 最小分辨线宽 × 2）

RT CT-01B 3～7μm（※2023/4より販売開始）

RT RC-02B 0.4～15μm（※販売を完了しました）

RT RC-04  0.1～10μm

RT RC-05  3～50μm（※販売を完了しました）

RT RC-05B 3～50μm（※販売を開始しました）