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CDG025D电容薄膜规
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详细信息
INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空机，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能，**的数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点，如一键调零功能和设点调整，抗腐蚀性的**纯陶瓷传感器具有**的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括**冲击的长使用**。**的传感器屏敝（**技术）保护真空计防止过程污染。**耐用的机械结构和数字电子学加强了EMC兼容性，长期稳定性和温度补偿性。CDG025D真空计为从电源接通后的快速稳定与暴露**压后快速恢复等特性设定了新的标准。
优点
◆ 全刻度范围从100毫乇…1000乇
◆ 电源接通后的快速稳定性
◆ 暴露**压后的快速恢复性
◆ 抗腐蚀性陶瓷传感**器
◆ **的长期讯号稳定性
◆ 温度补偿
◆ 保护传感器防止污染
◆ 一键调零功能
◆ 宽范围电源
◆ 2个设点（选项）
◆ RS232接口（选项）
用 途
要求高的应用条件下，**而快速的压强测量:
◆ 用于刻蚀，CVD，PVD，ALD半导体制造设备
◆ 资料贮存和显示器制造设备
◆ 工业真空设备
◆ 常用高精度真空测量
订货资料
CDG025D，温度补偿型
全刻度范围 法兰型式
| Torr | Pascal | Mbar | 1/2”tube | DN 16 ISO-KF | DN 16 CF-R | 8 VCR |
| 1000 | 133322 | 1333 | 375-000 | 375-001 | 375-002 | 375-003 |
| 100 | 13332 | 133 | 376-000 | 376-001 | 376-002 | 376-003 |
| 10 | 1333 | 13.3 | 377-000 | 377-001 | 377-002 | 377-003 |
| 1 | 13.3 | 0.13 | 378-000 | 378-001 | 378-002 | 378-003 |
| 0.1 | 13.3 | 0.13 | 379-000 | 379-001 | 379-002 | 379-003 |
CDG025D，温度补偿型，带2个设点和RS232接口
全刻度范围 法兰型式
| Torr | Pascal | Mbar | 1/2”tube | DN 16 ISO-KF | DN 16 CF-R | 8 VCR |
| 1000 | 133322 | 1333 | 375-300 | 375-301 | 375-302 | 375-303 |
| - | 110000 | 1100 | 375-500 | 375-501 | 375-502 | 375-503 |
| 200 | 26664 | 267 | 382-300 | 382-301 | - | - |
| 100 | 13332 | 133 | 376-300 | 376-301 | 376-302 | 376-303 |
| - | 10000 | 100 | 376-500 | 376-501 | 376-502 | 376-503 |
| 20 | 2666 | 26.7 | - | - | - | - |
| 10 | 1333 | 13.3 | 377-300 | 377-301 | 377-302 | 377-303 |
| - | 1000 | 10 | 377-500 | 377-501 | 377-502 | 377-503 |
| 1 | 133 | 1.3 | 378-300 | 378-301 | 378-302 | 378-303 |
| - | 100 | 1 | 378-500 | 378-501 | 378-502 | 378-503 |
| 0.25 | 33.3 | 0.33 | 385-300 | 385-301 | 385-302 | 385-303 |
| 0.1 | 13.3 | 0.13 | 379-300 | 379-301 | 379-302 | 379-303 |
| - | 10 | 0.1 | 319-500 | 379-501 | 379-502 | 379-503 |
粗体=标准产品
其他法兰型式和全刻度范围，请提出要求
