平整度测试系统：OWT-200

                 
 
 
 
 
 
 
 
产品简介：
 
    OWT-200平整度测试系统，采用光学方法测量晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等材质的表面特征，在无需任何接触的情况下测量厚度、TTV、LTV、弯曲度、平整度等，可在线和离线测量。
 
 
 
产品特点：
  ■厚度、TTV、LTV、翘曲度、弯曲度、平坦度测量；
  ■无接触测量；
  ■无需校准；
  ■高精度、高重复性；
  ■样品台可选：4寸、6寸、8寸；
  ■*的分析软件，可显示3D表面形貌；
  ■同时进行各种参数的测量，具备超高的测试速度；
 
 
 
技术参数：
  ■TTV
      ■精确度：±0.1um
      ■重复性精度：0.01um
 
 ■厚度
      ■精确度：±0.2um
      ■重复性精度：0.1um
      ■测试范围：50-2000um
 
 ■翘曲度/弯曲度
      ■精确度：0.5um
      ■重复性精度：0.2um
      ■测试范围：200um
 
 ■整机参数
      ■测量时间：<100秒
      ■测量尺寸：8寸
      ■尺寸：550*602*291mm
      ■整机功率：800W
 
 
 
典型客户：
 蓝宝石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企业等。