动态参数测试仪

1、设备概述

该设备用于功率半导体模块（IGBT、FRD、肖特基二极管等）的动态参数测试，以表征器件的动态特性，通过特制测试夹具的连接，实现模块的动态参数测试。

3、系统基本参数

3.1 电 压 源：220VAC ±10 ，50Hz/60Hz 20A RMS；

3.2 加热功能：室温

3.3 测试功能：可测试IGBT模块及FRD；

3.4 环境温度：25±15；

3.5 环境湿度：50 ±20 （相对湿度）

4、动态测试基本配置

4.1 集电级电压 Vcc： 50 1000V；

4.2 集电极电流 Ic： 50 1000A 感性负载；

4.3 电流持续时间 It： 10 1000 us 单个脉冲或双脉冲的总时间；
4.4 脉 冲 模 式： 单脉冲和双脉冲；

4.5 单电流脉冲的设置： Vcc，Ic, 电感值（自动计算脉宽）；

4.6 双电流脉冲的设置： Vcc, Ic, 电感值，间隙时间（10到50us）(脉宽自动计算)；

（开启Qrr测试：第二个脉宽＝间隙时间，1050us）；

4.7 设备寄生电感 Lint: < 65nH（感性动态测试）。

5、感性负载

5.1 有效电感 L 100 200 500 1000 μH；

5.2 电流 Ic 1000 500 A；

外部电感成阵列的内部连接。（外部电感的H值传给PC，以计算电流源的极限，限制脉宽到1000us）。

6、标准的双控制极驱动

6.1 门极电阻可人工预先设定如：2.5Ω，5Ω，10Ω等；

6.2 开启（Trun-ON）输出电压 Vge+ ： +15V；

6.3 关断（Trun-ON）输出电压 Vge- ： -15V；

6.4 脉宽： 10 1000us （单脉冲、双脉冲总时间）；

6.5 电压开关时间： < 50ns；

6.6 输出内阻： < 0.5Ω；

7、测量配置

7.1 示波器：美国泰克新5系混合信号示波器（MSO），带宽500MHZ，垂直分辨率12位ADC，4通道；

7.2 高速电流探头；

7.3 高压差分探头。

8、测试参数应包括

8.1 开通：turn on (tdon , tr , di/dt , Ipeak , Eon , Pon )；

8.2 关断：turn off (tdoff , tf , Eoff , Ic , Poff)；

8.3 反向恢复 (Irr,Trr,di/dt,Qrr,Erec)；

8.4 栅电荷：采用恒流驱动，电流可调范围：0

8.5 短路（1200Ａmax）；

8.6 雪崩；

8.7 NTC(模块)测试：0-20KΩ；

8.8 主要测试参数精度偏差 ：< 3 。

9、系统保护功能

9.1 有完备的安全控制单元，动态测试设备有传感器来保证操作者安全，设备任何门被打开均能快速切断高压电源。

9.2 有急停按钮，当急停按钮被按下时，迅速切断所有高压电源。

9.3 系统带有短路保护功能，在过载时迅速断开高压高电流。

9.4 操作系统带有多级权限。

9.5 系统应配有内置ups，保证计算机系统在电网短时间掉电情况下，为系统供电0.5小时以上，确保系统及数据安全。

该设备主要针对IGBT及MOS管的测试仪，适用于芯片设计，产线封装测试及新能源汽车，风力发电，地铁交通等领域的大功率器件及模块测试，设备模块化程度高，测试稳定性及测试精度在客户端已经广泛使用。可以根据就用户需求进行定制。