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日本雅马拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C洁净厌氧高温气氛炉简介:
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
特点
1.工作温度360℃和500℃。
2.采用耐热高性能高效过滤器,可在洁净的环境下进行高温烘烤。
3.高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2 消耗量极低。
4.磁密封保持高气密性,采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
5.可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。
6.标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。
安全性
1.门检测开关
2.温度过升防止器
3.氧浓度异常安全装置
4.氮气压力检测
5.氮气流量检测
6.冷却水流量检测
7.漏水传感器
8.过电流漏电漏电保护开关
日本雅马拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C洁净厌氧高温气氛炉技术参数:
| 型号 | DTN430C | DTN630C | DTN450C | DTN650C | |||
| 方式 | 氮气置换 +强制送风循环 | ||||||
| 性能 | 使用温度范围 | 室温+50~360℃ | 室温+50~500℃ | ||||
| 温度调节精度 | ±0.5℃(at360℃) | ±1.0℃(at500℃) | |||||
| 温度分布精度 | ±5.0℃(at360℃) | ±8.0℃(at500℃) | |||||
| 温度到达时间 | 约80分 | 约 110分 | |||||
| 氧浓度 | 20ppm以下 | ||||||
| 氧浓度到达时间 | ≤20分(250L/min氮气) | ≤25分(250L/min氮气 | )≤ 20 分(250L/min氮气) | ≤25分(250L/min氮气) | |||
| 洁净度 | 温度恒定时 100级 | ||||||
| 构成 | 内装 | 不锈钢板 | |||||
| 外装 | 冷轧钢板,表面耐药品性涂装 | ||||||
| 断热材 | 硅酸铝棉 | ||||||
| 加热方式 | 不锈钢加热管 | 合金加热丝 | |||||
| 加热功率 | 主加热器 | 6.75KW | 9KW | 9.5KW | 14.2KW | ||
| N2预热 | 1KW | ||||||
| 冷却机构 | 不锈钢冷却水换热器 | ||||||
| HEPA过滤器 | 集尘效率:0.3um 粒子 99.97%以上 | ||||||
| 控制器 | 温度控制方式 | PID控制 | |||||
| 温度控制器 | 液晶触摸屏+PLC | ||||||
| 运行功能 | 手动定值运行、自动程序运行 | ||||||
| 程序模式 | 程序运行 9 个,每个程序可设置 9步(可扩展) | ||||||
| 附加功能 | 操作员等级认证 | ||||||
| 加热器回路控制 | SSR驱动 | ||||||
| 传感器 | K型热电偶(温度控制及过升防止器) | ||||||
| 安全装置 | 门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2流量检测、 风机过载检测、过电流漏电保护开关等 | ||||||
| 规格 | 内尺寸(宽×深×高mm) | 450×450×450 | 660×500×660 | 450×450×450 | 660×500×660 | ||
| 外形尺寸(宽×深×高mm) | 1090×950×1540 | 1300×1000×1750 | 1240×1010×1750 | 1450×1060×1960 | |||
| 内容积 | 91L | 216L | 91L | 216L | |||
| 棚板层数 /层间距 | 12 层/30mm | 19 层/30mm | 12 层/30mm | 19 层/30mm | |||
| 排气口 | 40KF法兰 | ||||||
| 氮气入口 | Rc1/2 | ||||||
| 冷却水入口 | Rc3/4 | ||||||
| 热水出口 | Rc3/4,2个 | ||||||
| 电源(50/60Hz)额定电流 | 3相AC380V 16A | 3相AC380V 19A | 3相AC380V 20A | 3相AC380V 27A | |||
| 重量 | 约900kg | 约1100kg | 约900kg | 约1100kg | |||
| 选购品 | 棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯(待机 / 运行 /故障)、以太网通信功能 | ||||||