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BRG-1B 日本CANON真空计LG-11S/UGD-1S/TG-550C
- 型号
- BRG-1B
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详细信息
真空计LG-11S/UGD-1S/TG-550C日本佳能CANON ANELVA
日本CANON（佳能）真空计TG-550C的用途是用于真空系统中的压力测量，属于热电偶型真空计，主要用于中低真空范围的压力监测。适用于溅射、CVD（化学气相沉积）、PVD（物理气相沉积）等半导体制造工艺中的真空环境监测。常用于排气过程（粗抽阶段）的压力监控，因其在中真空段响应稳定。采用金属管球结构（通常为不锈钢SUS-304），具备良好的真空兼容性和耐高温性能
具体规格型号如下所示：
日本日本CANON真空计、离子规南京销售：
シュルツゲージ LG-11S
B-Aゲージ UGD-1S
ワイドレンジB-Aゲージ BRG-1B
ヌードイオンゲージ NIG-2F/NIG-2TF
ピラニゲージ PG-150
サーモカップルゲージ TG-550C
