被测件长度: 150 mm

工作台行程: 5m

分度值调整范围: 0.05-0.2 μm

推荐使用分度值: 0.1μm

测量压力: (1.5±0.1)N

仪器示值稳定性: 0.02 μm

仪器误差: ±(0.03+3ni?λ) μm n是格 ,i是格值 , △λ 是滤光片波长　　　　 误差

仪器体积: 280x500x700 mm

仪器重量: 40 kg

标准配件: 五筋园台、 九筋玛瑙台、可调园平台、 辅助台、 平面测帽　　　　 小球面测帽、干涉滤光片