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NM-X-5A

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深圳市真尚有科技有限公司是英国真尚有集团(ZSY Group Ltd)的一部分,成立于2005年3月,集团总部设在英国伦敦。英国真尚有集团与欧美众多测量设备、传感器厂家合作研发、销售精密测量仪器及传感器。 真尚有科技依托集团优势,致力于引进国外测量技术;是基于进口传感器,以软测量技术、RFID技术、无线传感器网络技术及相关中间件软件平台为发展方向,集研究、开发、销售、培训、系统集成、技术支持、售后服务为一体的高科技产业公司。真尚有科技所处的自动化测试测量领域前景十分广阔,直接服务于国内制造业。国内制造业的整体升级,需要大量高精度、高度自动化、高可靠性的测试测量设备、传感器,给我们带来了庞大的市场,和众多的发展机遇。真尚有科技在精密制造业、铁路测量、公路测量、设备监控、高校教学、研究等领域有着大量优质客户,市场广阔,潜力巨大。 真尚有科技还是深圳市政府认定的软件企业,拥有自主知识产权,公司将自己的核心软件技术服务于测量领域,成功应用国外各种测量设备及传感器,为客户解决多种实际的测量难题。我们自主研发的基于通用硬件平台的软测量体系之测厚系统ZTMS08已通过计量机构的认证,精度达1um,广泛应用于各种工业在线测厚领域。

详细信息

- 主要特点-
  • >5微米运动范围,高于纳米级分辨率;

  • 振荡频率>8K;

  • 小于微秒级响应时间(负载5g);

  • 现场扫描和步骤反应化;

  • 高稳定性;

  • 即插即用,低停机时间;


-应用领域-

磁头和硬盘测试;

干涉测量……


- 技术规格-

参数

符号

单位

备注


静态参数


最小

标准


材质


尺寸

23(长)×16.5(宽)×7.6(高)

mm


*范围

dxp·max


6.5

μm


*比例因子

bx1

1

μm


*比例因子误差

δbx1

小于0.1


%


共振频率(空载)

f0·0


8000

Hz


负载

5

g


动态参数


3dB带宽

Bx·p


500


Hz


*信号响应时间

txs·s


1.6


ms


*位置噪音

δXp·n


0.1


nm

误差


*磁滞(峰峰值)

δxp·hyst

0.1

0.2

%


*线性度(峰值)

δxp·lin

0.1

0.2

%


注意:

*这些参数由各转换器实测并提供。

①、所有的位置命令单位是每微米7个数字分辨率。

②、这是Z轴可承受的负载。

③、这是2%的响应时间,这是伺服系统的闭环参数,用户可以控制,测试单位是500nm;

④、实际的位置噪音;

⑤、位移的百分比,意思是位移为1um则磁滞小于1nm。

⑥、误差为满量程的百分比。

- 测量原理-

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