NE-PE60F等离子体表面处理设备

NE-PE60F等离子体表面处理设备由供气控制单元、真空室、射频等离子发生器、匹配器、真空泵等部分组成，本处理机采用电容耦合的内部电极放电结构。当上电极接入射频功率时，上下电极之间交替发射的电子，经过电场加速之后撞击低真空环境中的气体分子。气体分子由于受到高速电子的撞击而发生电离。射频放电是一种在低温低气压状态下的放电技术，使用射频放电可获得电离度与密度较大的等离子体。

产品参数：

产品特点：

•不锈钢托盘设计，可调节托盘间距

•8K镜面不锈钢腔体，密封性

•13.56射频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果；

•直观的触摸屏，过程参数实时监控。

•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求

•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体

•通过联锁门或可移动的板

•高精度气体流量监测系统，两路工艺气体配置(氩气、氧气），双路气流控制，比例可调，采用高精度电子质量流量计(MFC)、针阀、美国世维洛克气体管路。

等离子体表面处理原理：

等离子体表面处理设备是利用等离子体中的能量粒子和活性粒子与高分子表面发生作用，以达到改变表面成分的目的。对塑料、纤维、高分子薄膜等能有效地改善其表面特性以适合各种用途。无论惰性气体等离子体还是活性气体等离子体的表面处理都能有效地使高分子材料表面层产生大量自由基，在经等离子体活化而生成的表面自由基位置，能进一步加成特定官能团。高分子表面的等离子体处理主要包括以下几方面内容。用He、Ar和H2等惰性气体等离子体对高分子表面进行轰击，使其表面产生紧密的交联层；用O2、N2、CO、CO2和H2O等活性气体等离子体与材料表面发生作用，以改变材料表面的化学成分；在高分子表面进行等离子体接枝；在高分子表面沉积超薄的等离子体聚合膜；高分子表面图案化及自组装。