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等离子体处理设备NE-PE210F

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纳恩科技始创于2010年,总部位于深圳市,在香港设有研发分公司,是一家专注于等离子材料表面清洗处理、真空镀膜技术和智能装备研发,制造和销售的高科技公司。目前主要产品包括真空等离子清洗机,磁控溅射镀膜设备,离子溅射仪,等离子刻蚀设备,等离子表面处理设备,辉光放电仪等。公司核心研发团队来源于香港大学等离子实验室,香港理工大学材料工程学院和美国佐治亚理I学院的微电子学院。自成立以来,纳恩科技围绕等离子处理系统所需核心电源及底层算法进行技术布局,不断拓展自主设计能力。目前已完成以MCU, ARM为核心的射频芯片开发平台,实现了芯芯的结构化和模块化开发。具有高精度模拟、网络阻抗匹配、功率驱动、功率器件、射频和底层核心算法的设计能力,可针对不同细分领域等子处理系统需求,快速做出底层硬件组合,提高等离子系统的稳定性和效率。公司着眼于化的战略布局,目前在北京、上海、 成都,厦门均设立办事处,在新加坡,尼黑设有办公联络处。纳恩科技以前沿的创新理念、的核心技术在我国制造装备行业扮演着关键角色,公司坚持负"推动产业进步、保障国防安全、提升生活品质”这一神圣使命,致力成为的等离子技术处理方案供应商,在世界高科技舞台的同场竞技之中,续写中国等离子产业发展的新传奇!

详细信息

等离子体处理设备由离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成,该设备可以在真空状态下将气体进行电离,形成等离子体,等离子体区别于物质常见的固、液、气三种存在形式,它是一种准中性电子流,是正离子和电子密度大致相等的电离气体,在等离子状态下脱离原子束缚的电子和原子,中性原子,分子和离子做无序运动,具有很高的能量,这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用,可以得到各种表面改性,因此可以对塑料、金属、玻璃、橡胶等材质进行表面处理。并且等离子体作用过程是气-固相干式反应,不消耗水资源,无需添加化学药剂,是一项环保技术;作用温度接近常温,特别适用于高分子材料;仅涉及材料浅表面(10-1000A)。可在保持在自身材料特性的同时,赋予其一种或多种新的功能。

产品参数:

型号NE-PE210F
功率
0-1200W可调
电源频率13.56MHz
腔体材质航空铝材
腔体容积600(W)*600(D)*600(H)mm; 210L
单层有效处理面积560(W)mm x 520(D)mm
电极板数量8层(可定制可拆卸)
气路数量

2路气体

控制方式PLC+10寸触摸屏
电源供应AC380V,50/60Hz,三相五线100A

产品应用:

1、清洗:去除有机物、氧化物、金属盐、纳米级微粒污染物等

2、活化:亲疏水改性、表面能提升、官能团引入、生物相容性改善等

3、刻蚀:表面图案化、表面微刻蚀、改变表面形貌粗糙度等

4、键合:PDMS等微流控器件键合

5、去胶:光刻胶灰化、扫底膜等

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