- 面议
参考价：
起订量：
UNIXX DB20/30 12寸晶圆显影机
- 型号
- UNIXX DB20/30
该企业相似产品
CIF来源于美洲，服务于中国，是一家集实验室仪器设备研发、制造、销售、服务、产品应用为一体的专业化集团公司，在半导体技术和无机样品前处理技术领域为客户提供*的、高品质的实验仪器设备和应用工艺解决方案。CIF中国总部坐落于北京国际企业孵化中心(IBI)，系国家j。CIF中国公司具有自主进出口权，企业通过 ISO9001-2008质量管理体系认证，全系列产品通过CE认证，并获得多项国家专l。
详细信息
产品简介
UNIXX DB30 型晶圆显影机是一款针对12寸及以下尺寸晶圆的半自动系统，系统可集成显影，清洗，干燥等模块，同时可用于方片显影，尺寸230mm*230mm。
n产品特色
÷ 适用的显影、清洗和干燥工艺
÷ 圆形晶圆可达 Ø300
÷ 方形衬底可达 230 x 230
÷ 防溅环自动升降
÷ 具有 BSR 背部清洗功能
÷ 配置低接触离心力卡盘
÷ 可提供全自动系统
÷ 手动装/卸
÷ 适用所有半导体材料，如硅衬底、玻璃衬底、陶瓷衬底
÷ 1x 输送臂，最多 6 条管路
÷ 不同类型的喷嘴
÷ 通过压力罐或泵系统供应化学液
÷ 具有摆动效果的旋转电机
÷ 不同化学液分离排放（1、2 或 3 向分离）
n技术数据
÷ 衬底尺寸: 可达 Ø200 mm 或 150 x 150 mm
÷ 电机转速: 10.000 rpm，步长 1 rpm
÷ 电机加速: 40.000 rpm/sec，步长 1 rpm/sec
÷ 步进时间: 1 到 999.9 秒，步长 0.1 秒
