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surpass 大口径等离子刻蚀设备

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surpass
四川超迈智能装备有限公司

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刻蚀机,真空镀膜机,真空炉

四川超迈智能装备有限公司成立于2022年6月,注册资金1000万元,公司位于南充市临江新区科创路,占地面积3.6万平方米,为国家gaoxin技术企业、创新型中小企业、南充市企业技术中心。是一家集研发、生产、销售真空镀膜装备、等离子干法刻蚀装备及人工晶体生长装备于一体的gaoxin技术企业。


干法刻蚀设备在半导体行业中占据着至关重要的地位,用于在晶圆表面的衬底及其他材料上刻蚀出集成电路所需的立体微观结构对复杂微结构的器件加工,微电子器件的制造提供重要支持,PVD镀膜设备广泛精密光学、红外、电学、耐腐蚀、热障、芯片制程等领域;人工晶体炉可用于生长各种新型晶体材料。公司累计申请国家zhuanli及软著20余项,形成”基础研究-工艺开发-装备量产”闭环,技术成果转化率超80%。通过与西南科技大学,内蒙古科技大学、中国石油大学等高校的产学研深度合作,形成”基础研究-技术开发-产业应用“的创新闭环,持续推动行业技术迭代升级。未来,超迈智能将持续聚焦xianjin制造领域,通过持续的技术突破和工艺革新,助力客户实现产业升级,立志成为真空装备领域的中国智造biaogan。

详细信息

本设备主要用于半导体刻蚀,能够兼容离子束刻蚀和反应离子刻蚀功能,使用气态化学刻蚀剂与材料产生反应来进行刻蚀,并形成可从衬底上移除的挥发性副产品,通过真空系统排出,特别适合刻蚀熔融石英、硅、光刻胶、聚酷亚胺( PI) 薄膜、金属等材料。

尺寸:Φ1500mm,Φ2000mm
刻蚀材料:石英、硅、金属、光刻胶等材料

本设备可根据客户技术需求,定制研发生产,具体详情请电联我司。

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