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HMDS真空干燥箱（高真空干燥箱）
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一恒仪器创建于1997年，主要从事实验仪器、环境试验设备的研发、设计、制造、销售、服务为一体的高科技企业。一恒公司已在全国各省市建立*的渠道营销网络和售后服务分支机构，产品远销60多个国家和地区。至2018年底，有五十万台一恒产品正在使用中。我们一贯秉承“以科技保证品质，服务*产品”的宗旨，潮流。我们一直将品质和服务摆在，关键零部件采用进口产品，严格按照国家三包服务政策。我们拥有完整、科学的质量管理体系，在2000年后陆续通过了ISO9001质量体系认证、ISO13485医疗器械行业质量体系认证和CE认证，部分产品获得美国UL认证，并获得“”认定。一恒生产基地位于昆山市千灯古镇，总占地面积3万多平方米，具备年产能60000台产品,是世界众多跨国集团的ODM/OEM加工商，我们将自己定位为“生命科学领域温湿度控制解决方案的专业供应商”。 如今，一恒的售后服务网络已经覆盖上海、北京、广东、成都、沈阳、哈尔滨、厦门、昆明、郑州等地，我们本着以客户服务为导向，为客户提供实验室仪器及电子行业生产设备的整体解决方案和专业化服务，并以优质的售后服务广泛获得用户的好评。
详细信息
用途概述：
HMDS真空干燥箱用于半导体晶圆在进行HMDS预处理工艺中的干燥，通过程序设定，使抽真空-通氮气-抽真空-等实现自动控制，自动实现HMDS预处理工艺过程，用于光刻过程的涂胶工艺；
高真空干燥箱可在洁净环境下使用，满足洁净环境下的高真空，无尘生产工艺，半导体晶圆生产工艺车间使用，用于半导体、电子、医疗卫生、仪器仪表等领域的无氧化干燥工艺；
● 采用智能触摸屏控制，温度、真空度、时间等直接设定，菜单式操作，操作维护方便；
● 工作室采用316不锈钢，更好耐酸碱腐蚀，确保产品经久耐用，便于清洁；
● 长方形真空室，使有效容积大，能充分利用空间；
● 弹性双层钢化玻璃门观察工作室内物体，一目了然；
● 箱门闭合松紧可调节，整体成型的合成硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度；
● 增设超温保护温控口，有效的防止温度失控等安全问题；（选配）
● 低噪声专业真空泵，真空控制稳定可靠；（HMDS真空干燥箱）
● 采用内胆加热，箱体内无任何电子元器件，无污染，不易被腐蚀，使用更加安全；
● 采用超高真空泵，能够保证箱体内真空度达1.0×10-4Pa；(高真空干燥箱)
程序控制
● 程序控制操作，可根据工艺需求设定加热、真空度设定、通氮、时间等参数实现自动程序控制，确保每批次烘烤一致性，降低产品的烘烤差异性；
● 具有485通讯接口，可以通过外置软件程序实施查看设备运行状况和程序运行状况，保证设备一直运行在监控当中；
技术参数 | 技术指标/型号 | HMDS真空干燥 | 高真空干燥箱 | ||
| BPZ-6060MS | BPZ-6090MS | BPZ-6060HV | BPZ-6090HV | |
| 电源电压 | AC220V 50HZ | AC220V 50HZ | ||
| 输入功率 | 3000W | 3500W | 3000W | 3500W |
| 控温范围 | RT+10~250℃ | RT+10~200℃ | ||
| 温度分辨率/波动度 | 0.1℃ /±1℃ | 0.1℃ /±1℃ | ||
| 达到真空度 | 100Pa | 1.0×10-4Pa极限真空度 | ||
| 真空度显示 | 电子式真空度显示 | 电子式真空度显示 | ||
| 工作环境温度 | ＋5～40℃ | ＋5～40℃ | ||
| 内胆尺寸(mm)W×D×H | 400×400×400 | 450×450×450 | 400×400×400 | 450×450×450 |
| 外形尺寸(mm)W×D×H | 600×570×1390 | 610×590×1350 | 600×570×1390 | 610×590×1350 |
| 搁板 | 2块 | 2块 | ||
| 加热方式 | 内胆加热 | 内胆加热 | ||
| 工作室材料 | 316不锈钢 | 316不锈钢 | ||
※性能参数测试在空载条件下为：环境温度20℃，环境湿度50%RH
注：外壳可定制为304不锈钢材质
