起订量:
| 产品系列 | A2C-00-OR | A2C-00-CE | A2C-00-BE |
| 水质参数 | |||
| 超纯水电阻率(25℃) | 18.2 MΩ•cm | 18.2 MΩ•cm | 18.2 MΩ•cm |
| 总有机碳(TOC)* | — | <5 ppb | <1-3ppb |
| 细菌 | — | <0.1 CFU/ml | <0.1 CFU/ml |
| 细菌内毒素 | — | — | <0.001 EU/ml |
| 颗粒物质(>0.2μm) | <1 个/ml | <1 个/ml | <1 个/ml |
| 重金属离子 | ≤0.1 ppb | ≤0.1 ppb | ≤0.1 ppb |
| 硅去除率 | >99% | >99% | >99% |
| 水量参数 | |||
| 纯水/超纯水各自取水量 | 10 ml~99 L,数值任意设定,精度500ml以内达±2ml,500ml以上±1% | ||
| 取水流量 | 1~2 L/min | ||
| 超纯水产水量** | 6,000 L | ||
| * 在进水TOC<500 ppb条件下 | |||
| ** 在进水电导率<5 μS/cm条件下 | |||