4200A-SCS 美国泰克/吉时利 参数分析仪

4200A-SCS 是一种可以量身定制的参数分析仪，可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V) 和超快速脉冲式 I-V 特性。作为性能优良的参数分析仪， 4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。

产品符合 IEEE 标配 及泰克标配规定和规格

• I-V 源测量单元 (SMU)

1. ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
2. 100 fA 测量分辨率
3. 选配前端放大器提供了 10 aA 测量分辨率
4. 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
5. 100 mF 负载电容
6. 四象限操作 
7. 2 线或 4 线连接

• C-V 多频率电容单元 (CVU)

1. AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
2. 1 kHz - 10 MHz 频率范围
3. ± 30 V (60 V 差分 ) 内置 DC 偏置源，可以扩展到 ± 210 V (420 V 差分 )
4. 选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简 便切换

• 脉冲式 I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU)

1. 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
2. 200 MSa/s，5 ns 采样率
3. ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
4. 瞬态波形捕获模式
5. 任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分 辨率

• 高压脉冲发生器单元 (PGU)

1. 两个高速脉冲电压源通道
2. ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
3. 任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分 辨率

• I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)

1. 在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或 抬起探针
2. 把 C-V 测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针
3. 支持 ±210 V DC 偏置源

• 远程前端放大器 / 开关模块 (RPM)

1. 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动 切换
2. 把 4225-PMU 的电流灵敏度扩展到数十皮安
3.  降低电缆电容效应

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