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三靶射频磁控溅射镀膜仪VTC-3RF
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北京壮仕科技有限公司是一家代理、经销国内外分析仪器、环保仪器、生命科学仪器、电化学仪器设备及耗材、实验室常规设备、生化试剂耗材以及玻璃仪器的专业公司。本着“以质量为依托，靠服务求生存”的宗旨，进行科学管理，不仅为客户提供高品质的分析仪器，更致力于为所有客户提供完整的解决方案。从度身定制产品，专业技术支持，到*的售后服务，令所有的客户称心满意。
公司人员均是北京各大高校的毕业生，立足于高校，利用自身日常使用仪器的一些知识为更多用户提供优质的服务。
公司在电化学领域，依托与北京理工大学环境能源中心，不断加强与清华大学、北京科技大学、北京化工大学、北京大学、物理所、哈尔滨工业大学、鼎能开源、有色金属研究总院、机电研究院等高校及研究所的合作。
通过与电化学领域的厂家，包括上海辰华(CHI系列电化学产品)、科晶集团(MTI锂离子电池实验室加工设备、管式炉、箱式炉、磨抛设备)、武汉蓝电(LAND电池测试设备)、PINE旋转圆盘电极、Arbin电化学测试系统等的合作，不断为广大电化学研究者提供面、颖的研究设备和质的服务。
详细信息
| 设备名称 | 三靶射频磁控溅射镀膜仪--VTC-3RF （2019.5.27--科晶实验室审核） |
| 产品提示 | 1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示 |
| 主要特点 | ·标配的石英腔体（也可选配金属腔体）方便观察（图1） ·相比传统溅射仪，体积小巧，拆装方便（图2） ·模块化设计，靶头，电源等多种可选，自由DIY（图3） ·基台可旋转可加热 ·可溅射金属和氧化物。实验室已初步制备了 氧化锌、碲化铋、ITO、ATO、AU、Ag、Cu、Al、Mg、Sc等薄膜。 图一 图二 图三 |
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| 基本参数 | 1、输入电源：220V AC50/60Hz 2、设备功率：<> 3、靶台加热温度：500℃ 4、样品台转速：0-10r/min 5、靶头可调倾角：0-25度 6、溅射腔体尺寸：278mm OD x 272mm ID x310mm H。 7、靶材尺寸要求：1英寸磁控溅射靶头Φ25.4mm ×（0.1-3）mm(厚度） 2英寸磁控溅射靶头Φ50mm ×（0.1-3）mm(厚度) 8、使用功率：1英寸磁控溅射靶头100W 2英寸磁控溅射靶头300W 更多参数请联系科晶销售部 |
| 机体结构 | ·设备配备三个直流射频通用靶头，1英寸2英寸尺寸可选。 ·仪器中安装有直径为50mm的不锈钢可旋转样品台，加热温度是500℃（图1） ·配有300W自动匹配射频电源和500W的直流溅射电源（可自由选择）（图2） ·设备上配1/4英寸进气口方便连接气瓶（图3） ·配有靶头电动升降台（图4） ·配有高纯石英密封罩（图5） 图一 图二 图三 图四 图五 |
| 产品外形及尺寸 | 700mm L x 770 mm W x 1900 mm H
净重：80 kg（不包括泵）
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| 质量认证 | CE认证 |
| 质保 | 一年保修，终身技术支持。 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
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