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小型滑动PECVD管式炉系统OTF-1200X-50S-PE-SL
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北京壮仕科技有限公司是一家代理、经销国内外分析仪器、环保仪器、生命科学仪器、电化学仪器设备及耗材、实验室常规设备、生化试剂耗材以及玻璃仪器的专业公司。本着“以质量为依托，靠服务求生存”的宗旨，进行科学管理，不仅为客户提供高品质的分析仪器，更致力于为所有客户提供完整的解决方案。从度身定制产品，专业技术支持，到*的售后服务，令所有的客户称心满意。
公司人员均是北京各大高校的毕业生，立足于高校，利用自身日常使用仪器的一些知识为更多用户提供优质的服务。
公司在电化学领域，依托与北京理工大学环境能源中心，不断加强与清华大学、北京科技大学、北京化工大学、北京大学、物理所、哈尔滨工业大学、鼎能开源、有色金属研究总院、机电研究院等高校及研究所的合作。
通过与电化学领域的厂家，包括上海辰华(CHI系列电化学产品)、科晶集团(MTI锂离子电池实验室加工设备、管式炉、箱式炉、磨抛设备)、武汉蓝电(LAND电池测试设备)、PINE旋转圆盘电极、Arbin电化学测试系统等的合作，不断为广大电化学研究者提供面、颖的研究设备和质的服务。
详细信息
| 设备名称 | 小型滑动PECVD管式炉系统—OTF-1200X-50S-PE-SL （2019.12.23—科晶实验室审核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品提示 | 1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品特点 | ▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度； ▪ 可通过炉体滑动达到快速升温和降温； ▪ 可通过射频电源的频率来控制薄膜的应力； ▪ 可通过工艺调节来控制化学计量； ▪ 可沉积各种材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 相关视频 | 展示视频 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 加热炉参数 | ▪ 温度：1100℃（<> ▪ PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃； ▪ 输入电源：208- 240V AC，功率：1.2KW； ▪ 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命（点击文字了解涂层的详细参数）。 更多参数请联系科晶销售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射频电源 | ▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。
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| 真空系统 | ▪ 采用TRP-12的双旋真空泵； ▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵； ▪ 真空度可达10-2Torr。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 供气系统 | ▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）； ▪ 流量范围:
▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz； ▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管； ▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出； ▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品尺寸和重量 | ▪ 尺寸：1500mm L´600mm W´1200mm H ▪ 净重：160 kg ▪ 运输重量：220 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 认证 | ▪ CE认证 ▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证 ▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 承诺 | ▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件） |
