| FM-Nanoview Op-AFM 系统简介: ◆ 光学金相显微镜和原子力显微镜一体化设计,功能*; ◆ 同时具备光学显微镜和原子力显微镜成像功能,两者可同时工作,互不影响; ◆ 同时具备光学二维测量和原子力显微镜三维测量功能; ◆ 激光检测头和样品扫描台集成一体,结构非常稳定,抗干扰性强; ◆ 精密探针定位装置,激光光斑对准调节非常简便; ◆ 单轴驱动样品自动垂直接近探针,使针尖垂直于样品扫描; ◆ 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品; ◆ 超高倍光学定位系统,实现探针和样品扫描区域精确定位; ◆ 集成扫描器非线性校正用户编辑器,纳米表征和测量精度优于98%。 ◆ 技术参数 Technical Parameters | 工作模式 | 接触模式、轻敲模式 | 光学目镜 | 10X | | 选配模式 | 摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力 | 照明方式 | LED柯勒照明系统 | | 力谱曲线 | F-Z力曲线、RMS-Z曲线 | 光学调焦 | 粗微动手动调焦 | | XY扫描范围 | 50×50um,可选20×20um,100×100um | 摄像头 | 500万像素CMOS传感器 | | Z扫描范围 | 5um,可选2.5um,10um | 显示屏 | 10.1寸平板显示器,带图像测量功能 | | 扫描分辨率 | 横向0.2nm,纵向0.05nm | 扫描速率 | 0.6Hz~30Hz | | 样品尺寸 | Φ≤68mm,H≤20mm | 扫描角度 | 0~360° | | 样品台行程 | 25×25mm | 运行环境 | Windows XP/7/8/10操作系统 | | 光学物镜 | 5X/10X/20X/50X平场复消色差物镜 | 通信接口 | USB2.0/3.0 | |