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Agilent Turbo-V 1001 Navigator涡轮分子泵

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详细信息

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Agilent Turbo-V 1001 Navigator涡轮分子泵

Agilent Turbo-V 1001 Navigator 泵提供从 790 至 1050 L/s(视气体而定)的抽速,并且采用 Navigator 产品线中*的技术。安捷伦涡轮分子泵经过优化设计,可以在低压强内实现高压缩比,在大抽气量和高前级压强时实现*大的压差。该泵无油、无污染,并且具有非常低的故障率,可以在任何位置任意角度安装而不对材料施加应力。典型的平均故障时间 (MTTF) 大于 250000 小时。涡轮分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体,并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的专用泵。


特性

功耗更低、性能更佳

通过减少发热而节能,并提高可靠性

为风冷而优化的冷却翅片

通过降低工作温度进一步提高可靠性

Turbo-V 81-M MacroTorr 泵具有优化的几何尺寸

功率要求低,前级耐压高及可承受高气载

可拆卸的前级连接器

可连接各种前级泵

冷却方式灵活(风冷或水冷)

采用安捷伦 A-PLUS 软件(原 T-plus 软件)


技术规格

抽速:

ISO 160:

CFF 10 英寸或 ISO 200:

ISO 250:

N2:790 L/s

N2:950 L/s

N2:1050 L/s

He:820 L/s

He:870 L/s

He:900 L/s

H2:860 L/s

H2:900 L/s

H2:920 L/s

压缩比:ISO 160N2:1 × 109He:1 × 107H2:1 × 106
极限真空*(使用推荐的前级泵)< 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr)


抽气口法兰ISO 160 ISO 200ISO 200-F 螺栓CFF 10 英寸ISO 250 ISO 250-F 螺栓
前级管道法兰KF 40


转速38,000 rpm


启动时间小于 4 分钟


推荐的前级泵机械:Agilent DS 402 旋涡式干泵:Agilent TS300,IDP-15


工作位置任意


冷却要求强制通风或水冷


烘烤温度

抽气口法兰*高温度 120 °C(CF 法兰)

抽气口法兰*高温度 80 ℃(ISO 法兰)




振动参数(位移)在抽气口法兰处小于 0.01 μm


重量 kg(磅):

ISO 160 法兰

ISO 200 法兰

CF 10 英寸法兰

ISO 250 法兰

ISO 200-F 和 250-F 螺栓法兰,CF 10 英寸法兰

19 (41.8)

19.4 (43.0)

25.5 (54.2)

21.2 (46.6)

25.5 (54.2)



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