起订量:
| 项目 | 参数 |
| 内舱容积 | 2-50m3;±2% |
| 温度范围 | 15~40℃;±0.5℃ |
| 湿度范围 | 30%-70%RH;±2.0%RH |
| 温度湿度均匀度 | ≤±0.8℃;≤±2%RH |
| 高度清洁 | 120±2℃ |
| 空气交换率 | 0.2-2.5,±3% |
| 空气流速 | 0.1-0.5m/s |
| 甲醛本底浓度 | ≤0.006mg/m3 |
| TVOC浓度 | ≤0.02mg/m3 |
| 单项VOC浓度 | ≤0.002mg/m3 |
| 洁净度 | 直径大于0.5UM颗粒物≤100particles/m3 |
| 气密性 | 在1000PA的外压下,静态泄漏率为≤舱容*0.5×10-3m3/min |
| 甲苯回收率 | ≥80% |
| 工作电源 | 380V,50HZ |
| 设备噪声值 | ≤70dB |
| 重量 | 350KG |