UVISEL Plus 光谱型椭偏仪

一、 简介

UVISEL光谱型相调制椭圆偏振仪(SPME)是一款无二的仪器，它采用光弹性晶体来调制偏振光，而不是传统椭偏技术中的机械偏光装置。
相调制技术在性能上和多种实验功能方面有着显著的优势。
与传统椭偏仪相比，UVISEL光谱型椭偏仪能够在全谱范围内测得非常准确的椭偏角(Y, D)，从而可以对透明衬底、超薄薄膜和折射率接近的样品进行高精度和高灵敏度的特性分析。
相调制技术的原理，使得UVISEL光谱型椭偏仪能够进行的参数测量，包括极化度、各向异性以及Mueller矩阵元素的确定。高达1毫秒/每数据点的快速数据采集速率，使得UVISEL成为动态研究和液态表面测量的理想解决方案。
UVISEL是一台多功能的光谱型椭偏仪。它覆盖了190nm到2100nm的宽光谱范围，而且提供了一系列的自动选件和附件来增强系统的功能、满足您的实验需求。模块化的设计使得UVISEL配置灵活，可以离线、在线甚至为减小占地面积和满足超净间要求而集成到一个机柜中。

二、 技术特点

Ÿ 光谱型相调制椭圆偏振仪

Ÿ 同类产品中的精度和灵敏度

Ÿ 宽光谱范围：142到2100纳米

Ÿ 模块化设计

Ÿ 包含成熟的光谱型椭圆偏振仪软件包

Ÿ 自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等多种附件

三、主要应用

测量厚度、反射率和透射率、折射率等光学常数

Ÿ 单层膜或多层膜叠加

Ÿ 单一膜层

Ÿ 液态膜层

四、技术能力

光谱波长范围：190-2100nm

光源：75W Xe灯

光斑大小：标配<3mm，小光斑50μm可选

探测器：分别针对紫外，可见和近红外提供优化的PMT和IGA探测器

自动样品台尺寸：6/8寸多种样品台可选

自动量角器：变角范围35° - 90°，全自动调整，最小步长0.01°

五、应用

半导体薄膜：光刻胶、工艺薄膜、介电材料

液晶显示：OLED、玻璃厚度、ITO

光学镀膜：硬涂层厚度、减反涂层

高分子薄膜：PI、PC