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MJB4 德国 SUSS手动光刻机 MJB4
- 型号
- MJB4
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基本情况
武汉茂迪科技有限公司创立于2012年 ，多年来在实验室仪器业界创立了良好的专业技术和服务品牌，作为的综合性科学服务提供商，凭借自身*的技术后盾、经济实力、客户基础、销售网络和品牌忠诚度，被数百家国内外科学仪器厂商为其产品在中国的一级代理。公司自创立以来，始终以成为客户的实验室管家为宗旨，秉承“诚信、专业、快速、创新”的服务理念，先后服务于包括政府专业实验室、大专院校、药检、商检、质检、工业企业研发、计量中心以及市政工程等广泛领域。
2012年，公司通过整合行业优质丰富的产品资源，*的物流配送系统，优化订货流程，快速审核，直接下单无需预付，旨在通过齐全的产品线和系统化服务为广大科研工作者提供整体解决方案，全面降低时间精力成本，提高工作效率，创造成就！
详细信息
小尺寸基片的研发解决方案
SUSS的MJB4是广受欢迎的手动光刻机MJB3的全新换代产品。操作方便，占地面积小，成为实验室研究和小批量生产的理想设备。作为经济型光刻解决方案，MJB4针对直径达100mm的小尺寸基片工艺确立了一套工业标准。MJB4配有高可靠和高精度的对准系统，同时具备亚微米量级的高分辨率图形转移能力，这些特点都使得MJB4的性能明显优于同类设备。
MJB4系统可广泛用于MEMS和光电子，例如LED生产。它经过特殊设计，方便处理各种非标准基片、例如混合、高频元件和易碎的III-V族材料，包括砷化镓和磷化铟。而且该设备可通过选配升级套件，实现紫外纳米压印光刻。
在光刻工艺中，只需对准器件晶圆同侧的结构（例如再布线层、微凸点 等），用顶部对准功能将掩模位置标记对准晶圆位置标记。 根据衬底的特性，这可以用存储的晶圆位置数据或者用两个现场照片 、SUSS MicroTec 开发的DirectAlign™ 直接对准技术实现。
我们的客户可以从中得到以下好处
- 掩模对准器的对准精度
- 清晰、*的图像识别功能，即使在对比度不理想的情况下
多层晶圆堆叠被应用在许多构造工艺中。 用红外照射可以识别并对准通常埋在层之间的对准标记。
红外光还可以根据这些埋入的标记进行对准。 这需要使用能透过红外线的材料，例如硅、III-V族半导体（如砷化镓）以及临时键合和键合分离工艺中所使用的粘着剂 通过个例研究检查可行性。
为了尽可能扩大红外对准的使用范围，SUSS 掩模对准器可以选配*的红外光源和高性能摄像系统。
我们的客户可以从中得到以下好处
- *的红外光源和高性能摄像系统
