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应用特点:
设备主要用于金刚石薄片,金刚石电极片,金刚石半成品的激光切割和钻孔。
金刚石是已知的最硬的材料,因此,用金刚石作为切割工具几乎可切割所有其它材料,那么对于金刚石本身的产品成型,金刚石产品的切割钻孔等工艺对设备要求就更高。
设备可根据不同需求进行水平切割、薄片切割、平行平面切割和曲线切割。
设备加工尺寸精度高,切割道的线宽为3UM,对材料没有崩边影响,相对于线切割传统工艺的线宽10UM,崩边5UM,激光的优势尤为明显,对于形状特殊结构复杂的产品加工具有良好的效果。
设备采用皮秒红外激光具备光束质量好,聚焦光斑小,功率波动小,保障稳定的加工品质。
设备可采用德国3D振镜加工,对弧面屏,锥形,外延半平面性,梯形等形状复杂,结构各一的
产品具有良好的3D处理能力,效果和平面激光效果一样。
精密光路设计保障高质量的激光传输。
配备高速高精度直线电机。
配备自动化加工系统,可以实现全自动上下料,自动对焦激光切割,为客户减少人工成本。
技术参数
| 序号 | 项目 | 技术参数 |
| 光学单元 | ||
| 1 | 激光器类型 | 1064nm |
| 2 | 激光功率 | 150~500W可选 |
| 3 | 光束质量 | M²<1.3 |
| 4 | 聚焦方式&加工头数 | 单点聚焦镜、单头 |
| 5 | 最小聚焦光斑直径 | Ф10μm |
| 激光加工性能 | ||
| 6 | 加工速度 | 0~300mm/s可调 |
| 7 | 最小崩边 | 30μm |
| 8 | 加工材料厚度 | 3mm |
| 9 | 加工尺寸&精度 | 400mm×350mm, ±5μm |
| 机械单元 | ||
| 10 | 机床结构 | 龙门式 |
| 11 | 机床运动轴数&种类 | X,Y, Z轴 |
| 12 | 平台行程&速度 | 400mm×350mm,400mm/s可订制 |
| 13 | 运动平台重复精度 | ≤±1μm |
| 14 | 运动平台定位精度 | ≤±3μm |
| 软件控制单元 | ||
| 15 | 激光加工&平台控制 | |
| 16 | 加工文件导入格式 | Dxf |
| 17 | CCD视觉定位软件 | AISYS Vision |
| 18 | CCD视觉定位精度 | ≤±2μm |
| 电气单元 | ||
| 19 | PLC控制器 | Panasonic |
| 20 | 真空系统 | |
| 21 | 除尘&集尘系统 | 离子式风机 |
| 自动化单元 | ||
| 22 | 自动上下料系统 | XZ轴+可移动上下料平台 |
| 安装环境 | ||
| 23 | 整机供电&稳压器功率 | 220V380V |
| 24 | 压缩空气压强 | ≥0.6MPa |
| 25 | 无尘室等级 | 20000 |
| 26 | 地面承重 | 2.2T/m² |


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