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分子泵组应用于低温真空探针台
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Pfeiffer 分子泵组应用于低温真空探针台
真空探针台一般用于复杂, 高速精密器件进行表面观测以及各种性能测试的仪器, 通过测试可以保障产品的质量和可靠性并缩减研发时间和器件制造工艺的成本. 探针台主要应用于半导体行业, 光电行业, 集成电路以及封装的测试
为什么需要真空环境?
1. 真空探针台通过搭配分子泵组, 配合真空吸附卡盘及真空吸附探针座的使用, 通过空气压缩, 固定样品及探针座.
2. 由于晶圆在超低温情况下进行探测, 水气将会出现并且将会冻结晶圆. 水气会影响测量, 导致测量失败. 真空腔中的水气需要通过真空泵排出.
3. 当晶圆加热超过 300摄氏度, 400摄氏度, 500摄氏度或者更高温度时, 会发生很强烈的氧化. 温度越高, 越加大硅片表面的氧化, 氧化将使晶圆降低电学性, 物理性和机械性. 真空腔中的氧气需要通过分子泵组来排出.
上海伯东涡轮分子泵组应用于低温真空探针台客户案例: 某企业通过上海伯东推荐采购德国 Pfeiffer 经济型分子泵组 HiCube 80 Eco, 分子泵与隔膜泵结合, 整机设计, 即插即用, 提供清洁, 低振动, 稳定的高真空环境.
上海伯东 Pfeiffer 普发分子泵组 HiCube Eco 技术规格
| 泵组型号 | 进气法兰 | 分子泵 | 抽速 | 极限真空 | 前级泵型号 | 前级泵 |
| Hicube 80 Eco | DN 40 ISO-KF | HiPace 80 | 35 | 1X10-7 | MVP 015-2 | 0.5 |
| DN 63 CF-F | HiPace 80 | 67 | 1X10-8 | MVP 015-2 | 1 | |
| DN 63 ISO-K | HiPace 80 | 67 | 1X10-7 | MVP 015-2 | 1 |
Pfeiffer 涡轮分子泵组整体模块化设计, 内部集成前级泵和分子泵, "即插即用", 抽速范围 35 至 685 L/S, 极限真空 5X10-10 hPa, 提供经济型分子泵组 ECO, 标准型分子泵组 Classic 和高性能涡轮分子泵组 Pro 满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 真空计共同使用.
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上海伯东: 叶女士 中国台湾伯东: 王女士
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