ZY-1压阻热偶真空计

ZY-1压阻规--热偶规复合真空测量仪在ZO-2 热偶真空测量仪基础上增加了一路压阻规管，用于测量101kPa～200Pa之间的真空度。本仪器可同时测量两路真空度，其中真空室1由热偶规管1和压阻规管分段复合测量。
1 . 主要技术指标
1.1  测量范围： 101kPa～100 Pa ±10% (压阻规管)
 200～1 Pa           ± 20%(热偶规管)
   1～0.1 Pa         　± 50%(热偶规管)
1.2  配用规管： ZJ—54D 热偶规管
 YZG—15A 压阻规管
1.3 电源电压： 交流220V   50Hz
1.4 使用环境： 5～30℃     湿度 < 80%
1.5 外形尺寸：  321(w)X255(h)X380(D)mm³
    开孔尺寸: 300(w)X220(h)mm2 

2. 工作原理和使用方法
2.1  工作原理：
本仪器热偶规管采用定流方式工作。工作电流可以数字设定。可以自动调整**满度和高真空时的满度加热电流。真空度的单位自动转换。
为了提高101kPa～200Pa测量精度，同时避免气体种类对测量结果的影响，本仪器对真空室1复合了压阻规管，当真空室1的真空度处于上述范围时，压阻规管工作，高于上述范围时，热偶规管工作。
压阻真空规管是利用单晶硅的压阻效应制成的一种力敏器件。它以单晶硅为基体，按特定晶面，根据不同的受力形式分别加工成弹性应变元件，在弹性应变元件的适当位置，用集成电路工艺技术扩散四个等值电阻，组成惠斯登电桥。当不受压力作用时，电桥处于平衡状态；当受到压力作用时，一对桥臂电阻变大，另一对变小，电桥失去平衡。若对电桥加一恒定电流(电压)，便输出对应于所加压力的电压信号，从而达到测量气体压力的目的。同时，由于压力测量取决于单晶硅基片的形变程度，测量结果与气体种类无关。
由于这种传感器的感受、**和检测三部分同由一个元件实现，没有中间转换环节，所以不重复性和迟滞等误差极小。同时由于硅单晶本身刚度很大，形变很小，保证了良好的线性度，因此综合精度**。
本仪器提供了压阻真空规管工作所**需的恒流源，并接收规管送出的压力信号。所有的调零、调满度等均由软件完成，并且用软件对规管电流源的微小变化进行补偿，扩大了规管的测量范围。使用**方便。