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是一款的高灵敏度分光光度计,可进行深紫外区检测,具备大样品室,可满足光学、半导体及FPD在以下方面的检测需求。 |
FPD:
材料评估中NIR和大样品的高灵敏度测定。
半导体:
短波长激光和12英寸晶片整体表面的深紫外区测定。
光通信:
减反射膜NIR高灵敏度测定。
光学:
从DUV到NIR再到大样品的高灵敏度分析。
高灵敏度
SolidSpec-3700和3700DUV是台使用3个检测器的分光光度计:光电倍增管(PMT)探测器检测紫外区和可见光区,近红外区使用InGaAs 和 PbS检测器。InGaAs 和 PbS检测器的使用使得近红外区域的灵敏度显著增强。
深紫外区检测
SolidSpec-3700DUV具有检测深紫外区的能力,可测定至165nm或175nm的积分球。此检测是用氮气吹扫光室和样品室进行的。注: 165nm是SolidSpec-3700DUV使用直接受光单元DDU-DUV测定)的最短波长。
大样品室
大样品室(900W x 700D x 350H mm) 可在不损伤大样品的前提下进行检测。其垂直光路可直接测量大样品同时保持它们的水平状态。使用自动X-Y样品台(选配)测定样品的尺寸是12英寸或310×310mm。
Direct Detection Unit DDU/DDU-DUV (for liquid/solid transmission measurements)直接受光单元DDU/DDU-DUV对于液、固样品透过率测定
自动X-Y样品台(自动测量)
大型镜面反射附件
氮气流量装置
镜面反射附件(5°12°30°45°)
积分球删除样品盘
SolidSpec-3700/3700DUV的UVProbe软件包括光谱模块,光度模块,动力学及报告模块等功能。多重的安全性及可追踪性以确保删除数据的可靠性。