INSTRUTECH 冷阴极真空传感器 CCM500系列

产品特点 ：

冷阴极反磁控真空传感器
传感器组件容易拆卸和清洗
连接B-RAX或FlexRax控制器

技术参数 ：

测量范围从10^-8 至10^-2 Torr。
精度- N2 (typical)    ± 30%读数
重复性 - (typical)      ± 5% 读数
接液材质：316不锈钢，陶瓷，氟橡胶O型圈
灵敏度：厂家预设10^-2 Torr，用户也可2-99调节
超压保护：厂家默认10^-2 Torr关闭
温度：操作温度0-40℃，存储温度：-40到70℃
烘烤温度：150℃（仅表，电子元件移除），带磁铁不可超过5小时
安装方式：任意
模拟输出：B - RAX或FlexRax控制器输出
设定点继电器：B - RAX或FlexRax控制器设置
显示状态：操作B - RAX或FlexRax控制器用户界面选项控制CCM500阳极开/关状态
输入控制信号：B - RAX或FlexRax控制器控制
电源：通过 B - RAX或FlexRax控制器供电
RF/EMI认证：CE

选项及配件 ：

电源：PS501-A

应用及案例 ：

真空泵
灌晶设备
真空镀膜
大学科研
真空实验
化学/物理气象沉积
分析仪器
生物制药

技术指标

选项配件