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全新的MET ONE 3411为0.1微米灵敏度的便携式空气颗粒计数器。与很多便携式空气颗粒计数器不同,在标准的半导体洁净室环境中运行时,Met One 3411仪器的风扇是保持关闭的;这从根本上解决了仪器本身产生颗粒的问题。 Met One 3411空气颗粒计数器是专门为了满足ISO-21501-4中的严格要求而设计的,可以为用户提供的准确度,这也可以确保多个仪器的颗粒物测量值之间的重复性;对于基准的确定以及故障的解决都是非常关键的。 (一)特点 · 洁净室友好监测-减少了颗粒物对洁净室环境的影响; · 装置之间的准确度和再现性-由ISO 21501规范保证; · 灵活的通讯方式-无线通讯、以太网、串行通讯和USB通讯; · 长时间的连续运行-两块热插拔电池; · 直观的触摸屏用户界面-方便的区域、位置、运行参数配置和复制。 (二)应用 · 微电子/半导体; · TFT-LCD工厂; · 研发; · 硬盘制造。