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GSL-1100X-PJF-A 可自动扫描等离子表面处理仪

型号

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深圳市科晶智达科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服务于高校、研究院所、企业研发部门的国家技术企业,长期致力于打造安全、高效、智能的实验研发一站式服务平台,为科学研究与产业孵化赋能。 深圳科晶与美国MTI、合肥科晶、沈阳科晶同属MTI-科晶联盟,目前已经搭建辐射的服务网络,精心为科学家们的实验室提供交钥匙工程解决方案。 深圳科晶创立初期主要为半导体、精密光学器件提供洁净存储和安全转移所使用的包装制品,产品包括各种塑料胶盒、膜盒、晶圆盒、海绵盒、花篮等。 公司2008年开始进行材料相关研发设备和锂电池实验设备的开发,经过十多年的积累深圳科晶现已成为新能源和新材料基础研究、小试与中试、测试与评估的整体解决方案规划者和提供者,产品应用涵盖了石墨烯材料、*陶瓷、*纳米材料、锂离子电池、超级电容器、燃料电池、固态电池、钙钛矿太阳能电池、功能薄膜等方向。 主要产品系列:按应用与工艺更新产品系列 ? 材料基础研究实验装备(包括混料、涂覆、镀膜、压制、烧结、切割、研磨、抛光、粉碎、制粉、造粒、熔炼等); ? 电池研发实验制备装备(包括锂离子电池、固态电池、超级电容器、金属空气电池、钠离子电池、液流电池、太阳能电池等制备方案); ? 电池安全测试装备(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等国内标准等); ? 锂离子电池中、小试生产制备全流程系统装备方案,交钥匙工程(包括扣式、柱状、软包、方形铝壳等各种全电池制备方案); ? 燃料电池研发实验制备装备(包括固体氧化物、质子交换膜燃料电池等制备方案); ? 钙钛矿太阳能电池研发实验制备; ? 功能薄膜研发实验设备(包括混料、涂布、辊压/复合、分切、复卷等); ? 高通量材料基因组实验设备(包括配液、配粉、混合分散、压片、烧结、测试表征等); 公司设立了开放的研发实验室和设备体验中心。对于锂电池行业,可实现公斤级别材料制备及电池研发,能接受上门小批量材料验证、定向工艺研究及小量成品电池制备等研发工作。 深圳科晶强大的研发团队支撑了丰富的产品链,针对现有产品具有*知识产权的发明和实用新型共40多项(包含PCT和国内发明),并参与行业多项标准制定且获得多个行业协会认可。 本着“精诚合作、创新共赢”的宗旨,深圳科晶先后与清华大学、南开大学、上海交通大学、深圳大学、中航发航材院、溧阳天目湖研究院等十多个高校机构和企业签署产学研合作。与此同时,深圳科晶设立了对外服务的公共试验平台,承接科研人员参观交流与现场测试体验,配备行业的售前技术人员协助研究者充分了解相关工艺和设备,缩短调研考察与决策时间。该实验室平台也可以承接相关工艺试验服务和培训咨询服务,协助细分领域的科研工作者快速掌握产业工艺,从而专注前沿研发。 材料科学是基础科学。纵观人类科技的发展历史,新型材料的发现和应用将带来巨大的产业机遇,而*的实验装备和仪器是为科研和应用保驾护航的重要保障。科晶团队将一如既往秉承“客户为本,技术为导,诚信为基,积极创新”的运营理念 ,竭力为科学研究和科技发展做出贡献。

详细信息

GSL-1100X-PJF-A是等离子枪和可控制的样品台结合在一起的产品,有自动控制的样品台,就可使等离子枪按设定程序对样品表面进行更均匀涂覆和处理,保证处理样品表面的一致性和均匀性。此系统是由RF发生器、气体传输管、等离子枪头和X-Y移动的工作台(带有真空吸盘和控制盒)。此系统产生等离子束可在非真空和低温状态下活化和清洗样品表面,可处理的样品有单晶片,光学元件和塑料等,也可在常压下进行等离子增强气相沉积。

性能指标和基本配置
主要参数

● 工作环境:温度 < 42°C,湿度 ≤ 40℃RH
● 输入电源:208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W
● 等离子体工作压力

RF发生器

● 输出频率:20-23kHz , 25KV
● 等离子枪头:仪器中包括两种等离子枪头:圆形头:10-12mm,矩形头:15-18mm
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输入气体气压,工作气体

● 40 PSI min.(0.055 Mpa)
● Air, N2, Ar, He 或混合气体(不可通入易燃易爆气体 )

样品台和控制柜

● 配有可在X-Y轴移动的样品台,通过步进电机驱动,采用SBC控制盒控制
● 可手动调节样品台在Z轴方向上的移动距离
● 控制盒采用LCD显示,可设置其等离子枪头的扫描程序。
● 扫描范围:8" x 9"
● 一个直径为4"的真空吸盘安装在X-Y样品台上,可吸住直径为6"的样品。
● 配有一真空泵,可与真空吸盘相连接
● 整个系统安装在一移动架上(600x600x 800Lmm)
● 可选:可选加热样品台(温度可加热到500℃),也可将设备放置在手套箱中操作。
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外形尺寸

处理样品台尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H
等离子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
控制盒尺寸:330mm L x 305mm W x 152mm H

净重

55kg

文献

请点击链接以了解更多关于AP-PECVD应用的信息:常压等离子体增强化学气相沉积(AP-PE-CVD)用于在低温下生长薄膜。

质量认证

所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
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保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。
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